Occasion ADIXEN APR 4300 #9235406 à vendre en France
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ID: 9235406
Wafer decontamination system, 12"
CIM: E84, SECS/GEM, GEM300
Main system:
Main mini environment Platform
Main CPU & ACDC module
SMIF System: (2) ASYST 2200 Indexers
Handler system:
Wafer notch alignment with spatula
(2) Harmonic arm drive assembly with wafer handler
APM Slider with shuttle arm
Process chambers:
Etching with E-chuck
Stripping
Rinse/Spin dry
(2) Load locks
(3) RF Generators, 1250 W
Auto WVDS controller
Accessories: Remote AC box
Main chamber:
Turbo pump: 1000ltr with controller
E-Chuck
TCP RF Match
Bias RF match
(2) RF Generators
100 sccm CL2 MFC
50 sccm BCL3 MFC
300 sccm O2 MFC
30 sccm N2 MFC
1000 sccm N2 MFC
100 sccm Ar MFC
50 sccm He UPC
Strip chamber:
DSQ RF Match
Heater paddle
RF Generator
Auto WVDS controller
2000 sccm O2 MFC
300 sccm N2 MFC
500 sccm H2O MFC With controller
Rinse/Dry: Spin dryer with vacuum chuck
2014 vintage.
ADIXEN APR 4300 est un équipement et des accessoires de laboratoire durables et puissants de la marque ADIXEN. Cette unité est une combinaison d'une pompe à vide à double diaphragme avec un contrôleur intégré. Il est conçu pour répondre aux besoins des applications exigeantes pour les équipements de laboratoire et les accessoires. L'APR 4300 dispose d'une pompe à vide à double diaphragme et d'un contrôleur intégré, conçu pour assurer un fonctionnement fiable et efficace même dans les environnements de laboratoire les plus exigeants. L'unité est équipée d'un raccord 1/4 TNP et a une capacité de pompage maximale de 8l/min. Il dispose d'un moteur 1150W puissant avec un fonctionnement en 3 étapes et est certifié CE pour un fonctionnement sûr et fiable. L'unité dispose d'un drain de brouillard d'huile intégré, auto-mesurant, qui prolonge la durée de vie du filtre et réduit la brume d'huile formellement. ADIXEN APR 4300 dispose d'un écran LCD couleur qui affiche les valeurs de pression et de débit, permettant aux utilisateurs de contrôler facilement les performances du système. L'unité est conçue pour fonctionner en toute sécurité et est protégée contre les dommages par une variété de dispositifs de sécurité. L'unité a un degré de protection IP 21C, est approuvé UL, et dispose d'un moteur de ventilateur isolé, chauffage de surcharge, protection contre le courant de surcharge, et une chambre anti-surtension thermiquement isolée. APR 4300 est équipé d'un design modulaire simple à utiliser, la configuration et la maintenance facile pour les utilisateurs. L'unité est également légère et compacte, ce qui la rend facile à transporter et à stocker. En conclusion, ADIXEN APR 4300 est un équipement et des accessoires de laboratoire avancés et puissants. Il est conçu pour fournir des performances fiables et efficaces dans les environnements les plus exigeants. L'unité est équipée d'une variété de caractéristiques de sécurité et est approuvée UL. De plus, il est facile à installer et à entretenir grâce à son design modulaire. L'APR 4300 est un choix idéal pour les applications en laboratoire nécessitant une pompe à vide puissante et fiable et un contrôleur intégré.
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