Occasion SHIMADZU CTO-10A VP #170893 à vendre en France

SHIMADZU CTO-10A VP est un équipement avancé d'oxyde thermique pour les environnements de traitement en salle blanche/laboratoire. Cette machine multifonctionnelle présente des caractéristiques telles que le traitement automatisé de l'oxyde thermique, le dépôt chimique en phase vapeur et la planarisation chimique-mécanique. Il effectue les opérations suivantes : polissage chimique-mécanique (CMP), dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et oxydation chimique catalytique en phase vapeur (CVCO). Ces procédés sont utilisés pour réaliser des composants performants, notamment ceux utilisés en microélectronique et en optique. CTO-10A VP est équipé d'une interface de panneau tactile, permettant au personnel de surveiller facilement les performances de la machine. En outre, son système de contrôle est puissant mais flexible et peut être personnalisé pour répondre à des exigences spécifiques. Sa conception et son agencement garantissent un fonctionnement optimal, ainsi que la facilité de fonctionnement et de maintenance. SHIMADZU CTO-10A VP dispose de capacités avancées de détection des points d'extrémité, lui permettant de détecter avec précision les points d'extrémité du processus d'oxydation sans avoir besoin de processus manuels de détection des points d'extrémité supplémentaires. L'unité comprend également une méthode supplémentaire de pré-oxydation pour assurer une température d'oxydation stable pendant l'étape d'oxydation. Pour maintenir des niveaux de température constants, CTO-10A VP est équipé d'une machine de régulation de température contrôlée par PID. L'outil est compatible avec une variété de sources de gaz, de l'air/argon à l'oxygène, l'azote et l' CF4. La tête de douche en acier inoxydable avancée du CTO-10A fournit exactement la même quantité de flux massique pour chacun des gaz. En outre, l'actif offre une température maximale de 750 ° C, assurant qu'il peut effectuer des étapes de processus d'oxyde avec une grande précision. En outre, SHIMADZU CTO-10A VP a un aligneur de plaquettes à 6 zones qui fonctionne à l'unisson avec le processus d'oxydation catalytique. De plus, le modèle dispose d'un processus de chargement automatique des cassettes (ACL) qui facilite la mise en place des opérations CVM, CVD et CVP. CTO-10A Les matériaux de haute qualité de VP aident à créer une machine durable, sûre et respectueuse de l'environnement. Cet équipement de haute technologie d'oxyde thermique est un atout puissant pour tout laboratoire ou environnement de traitement de haute technologie.