Occasion CYMER 5300 #34281 à vendre en France

CYMER 5300 est un appareil laser 5 axes robuste et fiable spécialement conçu pour les applications de lithographie UV profonde. Il est doté d'une source de lumière laser à haute vitesse de répétition Deep Ultra-Violet (DUV), émettant à 193 nm, d'un système de centrage optique à 6 canaux, d'une capacité de précision et d'une compatibilité avec divers matériaux de masque, dont le quartz, les substrats sans quartz et les pellicules. 5300 offre une capacité d'imagerie à base de laser pour obtenir une imagerie haute résolution et une excellente répétabilité d'image. Pour la technologie d'impression de haute précision, l'unité est équipée d'un étage de pré-alignement et de commandes avancées de positionnement de faisceau en boucle fermée. Il dispose également d'une machine de direction de faisceau multi-axes très dynamique et de capacités de balayage à grande vitesse. L'outil est conçu avec un équipement automatisé d'alignement, d'exposition et de contrôle de l'érosion des bords afin d'assurer la précision, la répétabilité et le contrôle du processus de fixation. De plus, le CYMER 5300 intègre un modèle de métrologie intégré pour assurer le contrôle des processus et la qualité de l'image. En outre, l'équipement offre une véritable déviation dynamique du faisceau pour des performances d'impression cohérentes et la plus grande fidélité des motifs, même au niveau des fibres. Le système utilise une source lumineuse laser d'une puissance totale nominale de plus de 20 watts, composée d'un laser à commutation Q, modulé en largeur d'impulsion, éteint, et d'une unité de distribution de faisceau avec optique inter-connexion. Cette source illumine et régit le processus de mise en forme, offrant un large éventail d'angles d'exposition, un débit élevé, de grandes et petites ouvertures et une fonctionnalité de calibration intégrée. 5300 comprend également une interface utilisateur intuitive et conviviale, avec des paramètres de fonctionnement flexibles et une gestion efficace de l'interconnexion. Il combine des performances mécaniques de précision avec des systèmes de contrôle numérique sophistiqués pour fournir des résultats de lithographie électroniques fiables et reproductibles. Il s'agit d'un choix idéal pour une production en IC haute précision et en grand volume.