Occasion CYMER 5400 #293667156 à vendre en France
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Le laser CYMER 5400 est un laser à excimère pulsé qui est utilisé dans des applications telles que la lithographie avancée, le dépôt de couches minces, la gravure et l'optique non linéaire. Ce laser, introduit par la société CYMER, Inc. en 1995, présente une conception à haut rendement, capable de produire plus de 75 watts de puissance de sortie à sa gamme complète de fréquences de résonance. La conception unique de 5400 comprend un résonateur optique à 8 rebonds, qui émet omnidirectionnellement de la lumière dans les gammes de longueurs d'onde des ultraviolets (UV) et des ultraviolets profonds (DUV). Le laser utilise l'ArF (193 nm), le KrF (248 nm) et/ou le XeCl (308 nm) pour produire une grande variété d'impulsions laser, des nanosecondes simples ou doubles aux impulsions sous-picosecondes ultraviolettes. Le laser est une unité autonome qui comprend des éléments d'étalonnage, de contrôle, de fonctionnement et de rétroaction, en plus d'un sous-système d'optique de délivrance de faisceau capable de délivrer des impulsions laser propres et stables. L'unité est équipée d'une fonction de digitalisation de 10 GHz, pour un réglage de fréquence rapide et précis, ainsi que d'un régulateur de température interne et d'un système de stabilisation de pression active. Cela permet à l'utilisateur d'obtenir des performances cohérentes et répétables dans toutes les plages de température et de pression. Le CYMER 5400 est compatible avec une large gamme de milieux gazeux tels que l'azote, l'hexafluorure de soufre et le chlorure de xénon. En outre, l'unité dispose d'un système de sécurité intégré qui utilise des emboîtements mécaniques et électriques, pour assurer la sécurité de l'utilisateur pendant le fonctionnement. 5400 comprend également un cycle de purge automatique pour éviter d'endommager les composants optiques du laser en cas d'événement de pression soudaine (comme une panne de courant du secteur). En résumé, le CYMER 5400 est un laser robuste de haute puissance qui fournit aux utilisateurs une large gamme de contrôle fin, une énergie de sortie maximale et un système de sécurité interne fiable. C'est un outil polyvalent et fiable bien adapté à de nombreux types d'applications, et sa flexibilité et ses performances en font l'un des lasers de choix pour de nombreuses industries.
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