Occasion CYMER 5600 / 5610 #9030427 à vendre en France

Les lasers CYMER 5600/5610 sont des lasers monoplace ultra-puissants développés par CYMER Inc. pour la micro-électronique extrême et l'exposition à l'échelle des plaquettes. Ces lasers sont largement utilisés dans la fabrication de puces semi-conductrices, de circuits intégrés (IC), de composants passifs et d'autres composants microélectroniques. Les lasers 5600/5610 offrent la puissance la plus élevée, les impulsions les plus courtes et les taux de répétition les plus élevés disponibles pour la photolithographie. Les lasers CYMER 5600/5610 sont basés sur la technologie Multi-Stripe, une forme unique de laser à l'état solide MOPA (Master Oscillator Power Amplificateur) pompé par diode. Cette technologie combine plusieurs faisceaux laser à bande étroite d'une seule tête laser à une seule impulsion laser de forte puissance. L'approche de conception Multi-Stripe minimise les effets non linéaires traditionnellement associés à d'autres conceptions de laser à pompe à diode. L'équipement laser à impulsion courte qui en résulte a une taille de tache de faisceau qui peut être adaptée aux exigences spécifiques du système. Les lasers 5600/5610 produisent des puissances crêtes de forte puissance au-delà de 10kW avec un taux de répétition allant jusqu'à 100kHz. Ces lasers ont une durée d'impulsion courte typiquement de 10 nanosecondes (ns) et offrent des puissances de crête supérieures d'un ordre de grandeur à d'autres plates-formes laser de forte puissance. De plus, les lasers CYMER 5600/5610 disposent d'une stabilisation de puissance avancée et d'une gestion de l'énergie pour assurer la stabilité maximale du faisceau et la fiabilité à long terme de l'unité laser. Ces lasers ont été conçus pour éliminer virtuellement les artefacts d'affichage et fournir une excellente vision lors de l'exposition des photomasques et des dispositifs à couches minces. Les lasers 5600/5610 utilisent une commande de balayage numérique, permettant une vraie résolution de sous-pixel et des résultats de titrage supérieurs. Les lasers sont également conçus pour une faible divergence de faisceau afin d'assurer une focalisation précise et une bonne précision de recouvrement. Dans l'environnement d'exposition à l'échelle de la plaquette, les lasers CYMER 5600/5610 sont spécifiquement optimisés pour l'imagerie à haute résolution à travers l'objectif. Les lasers offrent des vitesses de balayage rapides et des perspectives de capacité de processus améliorées. Les systèmes 5600/5610 ont été largement testés sur le terrain et sont conçus pour répondre aux exigences de processus les plus strictes pour la production commerciale. En ce qui concerne la production microélectronique, la plate-forme laser CYMER 5600/5610 offre la puissance de pointe la plus élevée et la largeur d'impulsion la plus courte de l'industrie. Cela en fait un choix idéal pour les applications de microélectronique extrême telles que la lithographie, la gravure, la fabrication d'interconnexions haute densité, l'emballage à micro-échelle et la fabrication MEMS. Grâce à leur puissance élevée et à leurs impulsions courtes, les lasers 5600/5610 offrent la machine la plus efficace pour la production de dispositifs microélectroniques, ce qui permet d'obtenir le plus haut débit et le meilleur rendement du dispositif.