Occasion CYMER ELS 5300 #9245310 à vendre en France

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Fabricant
CYMER
Modèle
ELS 5300
ID: 9245310
Laser system Used with CANON FPA 3000 EX5 Stepper.
CYMER ELS 5300 est un équipement laser conçu pour une large gamme d'applications de fabrication de semi-conducteurs telles que la lithographie, la gravure, le recuit et la texturation. Ce système robuste offre des capacités de traitement uniformes de haute qualité avec une conception d'unité flexible et un logiciel avancé. Il est équipé d'un laser à fibre Yb de 5 kW, d'une machine de transmission laser ultra-stabilisée à haute transmission et de capacités de balayage avancées. Le laser à fibre Yb refroidi par air produit une puissance de 5 kW dans un faisceau continu, uniforme et stable sur de longues distances de travail. Il offre des performances de puissance élevées avec une durée de vie opérationnelle prolongée et une maintenance faible. L'outil de distribution du faisceau laser fournit un balayage précis de la zone de travail, utilisant la technologie avancée de galvanomètre et de balayage piézo-guidé pour le placement précis des prises de vue laser. L'atout de contrôle numérique avancé fournit des performances de processus supérieures en permettant un accès facile à des recettes définies par l'utilisateur pour diverses exigences de traitement. Il dispose également d'une auto-focalisation intelligente et d'un contrôle de puissance pour définir automatiquement les conditions de traitement optimales, éliminer le temps de calibration et fournir des résultats uniformes et de haute qualité. CYMER ELS-5300 est également équipé d'un modèle de vision intégré et de fonctions de surveillance des processus pour assurer la précision et la sécurité tout en assurant un contrôle complet des processus. L'équipement laser ELS 5300 est une solution robuste et polyvalente pour les besoins exigeants de la fabrication de semi-conducteurs. Il offre des performances supérieures, avec des processus cohérents et de haute qualité, un débit élevé et une grande fiabilité du système. La sortie de 5 kW, la qualité uniforme du faisceau, les capacités de balayage avancées et les fonctions intelligentes de mise au point automatique et de contrôle fournissent la plate-forme parfaite pour une large gamme de lithographie avancée, gravure, recuit et exigences de texturation.
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