Occasion CYMER ELS 5300 #9260804 à vendre en France

CYMER ELS 5300 est un laser de production de volume modéré à élevé pour le traitement des semi-conducteurs. Il utilise l'optique résonatrice de nouvelle génération pour fournir une source laser puissante et fiable. CYMER ELS-5300 offre une variété de paramètres laser, permettant jusqu'à 5 kW de puissance de sortie maximale et jusqu'à 8 kHz de fréquence d'impulsion, ce qui le rend idéal pour la lithographie UV profonde et les applications de traitement à haut volume. ELS 5300 intègre une variété de fonctionnalités avancées, y compris un équipement intégré de livraison de fibres optiques, des chambres de refroidissement avancées, et un système de mouvement multi-axes fiable. Cela permet de contrôler avec précision les caractéristiques spatiales et temporelles du laser et la pulsation laser synchrone. Au cœur de ELS-5300 se trouve son optique de résonateur avancée, composée d'une conception brevetée à deux étages intégrant des miroirs optimisés et une chambre à vide de haute qualité. Ceci améliore les caractéristiques du faisceau avec des pertes d'énergie réduites, permettant des vitesses de traitement plus rapides et un meilleur débit. Le CYMER ELS 5300 est équipé d'une nouvelle unité de remplissage de gaz, conçue pour permettre une commutation rapide entre types de gaz à des fins d'application, telles que la gravure ou le dépôt sélectif. Cette machine permet également l'introduction d'aides optiques, telles que des polariseurs à cristaux liquides, pour permettre un contrôle fin des caractéristiques du faisceau. Le laser est conçu pour être intégré dans un processus de production en plusieurs étapes, avec une interface standard pour la connexion à d'autres systèmes et équipements de traitement des semi-conducteurs. Cela comprend des systèmes d'alimentation et de surveillance, ainsi qu'une suite logicielle pour l'enregistrement et le contrôle de la qualité de la sortie laser. En fin de compte, le laser CYMER ELS-5300 est un choix idéal pour une production précise et à haut volume de semi-conducteurs. Sa combinaison unique de caractéristiques, telles que son optique à résonateur double axe et son outil de remplissage de gaz, permet un traitement rapide et fiable avec un équilibre optimal de puissance et de précision.