Occasion CYMER ELS 5305 #9295002 à vendre en France

CYMER ELS 5305 est un équipement laser excimère fabriqué par CYMER, Inc., pour la fabrication de semi-conducteurs et de composants. Il est utilisé pour deux processus clés : la lithographie et la gravure humide. Le système laser est optimisé pour offrir des performances élevées et des économies tout en répondant aux exigences de processus exigeantes des architectures de dispositifs émergents. ELS 5305 utilise une technologie laser céramique dopée au thulium pour émettre une lumière ultraviolette (UV) à impulsions courtes de différentes longueurs d'onde. Avec des taux de répétition d'impulsions allant jusqu'à 10 Hz et des énergies d'impulsions allant jusqu'à 170 mJ disponibles, l'unité laser peut produire efficacement l'énergie d'exposition nécessaire à la création de caractéristiques photomasques très précises. En outre, selon le CYMER, ses techniques de pulsation laser exclusives ne modifient pas la température et l'humidité ambiantes, assurant ainsi la répétabilité des résultats d'exposition. Pour les procédés de gravure par voie humide, la machine laser est capable de produire des profondeurs de gravure jusqu'à 0,35 μ m et des largeurs de gravure supérieures à 1,5 μ m. Compte tenu de la courte durée d'impulsion du laser, 0,37 microsecondes, le procédé de gravure humide peut fournir une plus grande précision, en particulier avec des profondeurs de gravure peu profondes. Le CYMER ELS 5305 est également équipé d'un microscope vidéo de pointe et de systèmes de contrôle de la focale (V-MIC) pour les processus de lithographie automatisés. En intégrant des technologies sophistiquées de détection de position, de sondes et de cartographie, le V-MIC assure la précision de la focalisation tout au long du processus de modélisation. Pour garantir la fiabilité à long terme de l'outil, ELS 5305 intègre un système de refroidissement en boucle fermée qui permet de maintenir une température de fonctionnement constante à 80 degrés en tout temps. De plus, un modèle avancé de purification de l'air a été inclus qui réduit les particules en suspension dans l'air jusqu'à 0,2 micron. Dans l'ensemble, le CYMER ELS 5305 est un équipement laser de pointe conçu pour la fabrication précise de semi-conducteurs et de composants. Il dispose de contrôles intuitifs, d'une technologie avancée d'exposition/gravure, d'un contrôle automatisé de la focale et d'un contrôle fiable de la température/des particules, ce qui en fait un appareil parfait pour les applications de lithographie haut de gamme et de gravure par voie humide.