Occasion CYMER ELS 5610 #9389758 à vendre en France
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Vendu
ID: 9389758
Style Vintage: 2000
Laser
Chamber
Compression head for 5010
F2 Trap / Vacuum pump gas control module
OC Plate
GS1 / GS2 AC Distributor
Auto Shutter
Control module
Cables
Interface module
(2) Bias cables
HV Cable
Exhaust box
Blower motor
Part number / Description
04-07200 / LNM
s143635 / WSM
05-10032-01 / HVPS for 5010
05-3490-04 / Commutator for 5010
05-08120-01 / Cooling module
05-12096-03 / Blower motor controller
05-11019-02 / MFT Power
2000 vintage.
Le CYMER ELS 5610 est un équipement laser excimère de pointe conçu pour le traitement laser de haute précision de couches minces et de divers matériaux, y compris des surfaces dures et fragiles. Il s'agit d'une solution idéale pour la fabrication de circuits intégrés, la texturation laser directe et d'autres procédés de fabrication photoniques avancés. Avec une qualité de faisceau exceptionnelle et des énergies impulsionnelles jusqu'à 10 J, ELS 5610 dispose d'une fréquence de résonance compétitive de 2 kHz et d'une conception ergonomique compacte pour une efficacité spatiale maximale. Le CYMER ELS 5610 est équipé de deux types standard de décharge laser excimère : mode unique longitudinal (SLM) et supermode (SM). Le mode de décharge SLM convient au traitement de matériaux transparents, tandis que le mode de décharge SM peut être utilisé pour le traitement de matériaux opaques. Son architecture de déclenchement avancée prend en charge les taux de tir personnalisés et le tir le plus élevé pour la stabilité de tir et la répétabilité de toute plate-forme laser excimère de sa classe. L'absorbeur de cavité externe intégré à ELS 5610 élimine le besoin d'un absorbeur externe et offre des performances d'ablation robustes. Le laser peut être configuré avec une variété de types d'obturateurs, y compris les déviateurs manuels, les obturateurs électro-optiques et les obturateurs acousto-optiques. Il peut également être configuré avec une large gamme de processeurs de faisceau comprenant des homogénéisateurs de faisceau intégrés, des obturateurs mécaniques rapides, des atténuateurs optiques, des amplificateurs de faisceau et des miroirs de déviation. Une large gamme de composants optiques sont disponibles pour répondre au mieux aux exigences de l'application. CYMER ELS 5610 est capable de scanner jusqu'à 160 mm et son système intégré de contrôle de mouvement supporte tous les types d'applications 2D ou 3D. L'unité de refroidissement intégrée intégrée et la machine de contrôle de puissance avancée assurent un fonctionnement stable sans endommagement thermique de l'optique. Un outil intégré de surveillance de la puissance permet un profilage précis des faisceaux et assure une stabilité à long terme pour un micromachinage intégré de haute précision et structurellement solide. Afin de réaliser des applications optoélectroniques avancées, ELS 5610 peut être intégré à un certain nombre d'optiques externes, y compris les systèmes d'imagerie médicale laser, les projecteurs laser et les systèmes d'imagerie 3D. Un atout avancé d'acquisition de données prend en charge la surveillance en temps réel et l'enregistrement des données, et le modèle est évolutif avec la modulation de largeur d'impulsion et d'autres fonctionnalités avancées. Le CYMER ELS 5610 est facile à intégrer dans les processus de production existants et convient à une production de faible volume. Cet équipement hautement efficace est une solution fiable et économique pour des applications de fabrication de précision. Il fournit un traitement laser précis et fiable pour de nombreuses applications qui nécessitent une grande précision et une qualité de faisceau élevée.
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