Occasion CYMER ELS 6300 #154882 à vendre en France

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Fabricant
CYMER
Modèle
ELS 6300
ID: 154882
Style Vintage: 2000
Laser, 2000 vintage.
CYMER ELS 6300 est un laser excimère de haute puissance utilisé dans des applications avancées de traitement de plaquettes telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la production de panneaux plats et la lithographie avancée. Ce laser a été conçu pour être utilisé dans le traitement de grand volume et de grande surface et est le plus puissant de la série ELS que CYMER offre. Le 6300 est configuré avec un laser pulsé à pompage optique, alimenté par un mélange de gaz laser Ar-F avec un niveau d'énergie de 300 mJ par impulsion. Le faisceau est produit par un équipement optique mixte ouvert qui utilise une conjonction de lentilles sphériques et cylindriques et de déflecteurs pour une transition sans distorsion des taches focales. Des densités de puissance de sortie allant jusqu'à 20 Watts/cm2 permettent d'obtenir des profils de lithographie propres et des lignes de production rapides. Ce laser est également capable d'ablation rapide à faible énergie impulsionnelle, permettant un débit de processus plus élevé dans les applications de gravure et de dépôt. La technologie de contrôle de la cadence des impulsions brevetée de la 6300, Thermal Control System, permet un meilleur contrôle de la puissance de crête grâce à des algorithmes spéciaux et tient compte de facteurs environnementaux critiques tels que la pression, la température et la stabilité de l'unité laser. Ce laser dispose également d'une machine intégrée de stabilité de faisceau MEMS qui fournit une excellente précision de forme de faisceau et l'uniformité dans +/-0.5mJ. De plus, il offre un entretien facile et intuitif pour des opérations plus rapides et des temps d'arrêt réduits. L'utilisateur peut ajuster et mettre à jour les paramètres à distance avec sa connexion Ethernet intégrée. ELS 6300 est certifié CE et certifié ISO, ce qui en fait un choix fiable et fiable pour les applications avancées de traitement des plaquettes. Avec sa large gamme de fonctionnalités avancées et ses performances fiables, il est l'un des meilleurs systèmes laser actuellement disponibles sur le marché.
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