Occasion CYMER EX-5700 #9106784 à vendre en France

CYMER EX-5700 est un équipement laser excimère haut de gamme conçu pour la fabrication. Il offre des performances supérieures et un excellent débit pour une variété de procédés de photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système se compose d'une alimentation électrique, d'une tête laser, d'une optique de distribution de faisceau et d'une unité de manutention des plaquettes. La tête laser est basée sur un design industriel avancé et présente une faible consommation de gaz, une grande efficacité et une longue durée de vie. Il est alimenté par un générateur RF de 500 watts qui produit un faisceau diffus à grande vitesse de 193nm de rayonnement de longueur d'onde. Ce rayonnement est ensuite dirigé à travers une série de réseaux de diffraction et de lentilles de focalisation qui affinent le faisceau et le dirigent vers la plaquette. L'optique de livraison du faisceau est faite de matériaux de haute qualité et présente des propriétés de réflexion et de transmission élevées. Cela garantit que la lumière UV est correctement focalisée et maximise l'efficacité du débit. Le foyer peut également être réglé à distance à l'aide d'un servomoteur motorisé. La machine de manutention des plaquettes se compose d'une serrure robotique, d'un étage de haute précision et d'un outil spécialisé d'alignement en trois points. Cet outil est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 6 "de diamètre et de les positionner avec précision dans les 200 nanomètres de tolérance. Le CYMER EX 5700 est conçu pour fonctionner à très haute vitesse, tout en conservant l'intégrité du processus de lithographie. Il est également très fiable et nécessite un entretien minimal. Plusieurs dispositifs de sécurité sont également inclus tels que des obturateurs laser, des alarmes et des emboîtements. Toutes ces caractéristiques se combinent pour faire d' EX-5700 une machine exceptionnellement puissante et fiable.