Occasion ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/M #293797160 à vendre en France
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ID: 293797160
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2011
Mask aligner, 8"
NUV / DUV Wavelength
Uniform beam size: 8"
Exposure light source for G-Line, H-Line, I-Line wavelength
Single / Split-field dual CCD Camera alignment system
Single / Split-field microscope alignment system
Double side exposure system
Square area:
< +3% over, 8"
< ±1% over, 4"
< +2% over, 6"
Printing resolution:
<0.5 Micron for vacuum / Hard contact (NUV Exposure)
<0.8 Micron for soft contact
<1 Micron for 50 Micron proximity gap
<2 Micron for 100 micron proximity gap
Alignment accuracy: ± 0.5 micron
500 W for Light source (NUV), 8":
365 nm Output intensity: 18-20 mW/cm²
400 nm Output intensity: 35-40 mW/cm²
436 nm Output intensity: 8-10 mW/cm²
2011 vintage.
ABM ABM/8/500/NUV/DCCD/M est un aligneur de masque très avancé conçu pour des procédés de photolithographie de haute précision dans la fabrication de microélectroniques et de semi-conducteurs. Cet équipement de pointe combine des caractéristiques d'alignement de précision, des capacités d'exposition avancées et des technologies innovantes pour répondre aux exigences des applications modernes en nanotechnologie. Avec ses spécifications polyvalentes et ses performances supérieures, ABM/8/500/NUV/DCCD/M masque aligner offre une solution complète pour produire des motifs complexes sur des substrats avec la plus grande précision et la plus grande cohérence. La caractéristique clé de l'alignement de masque ABM/8/500/NUV/DCCD/M est sa capacité de 8 pouces masque taille, permettant aux utilisateurs de travailler avec de plus grands substrats et de créer des modèles complexes avec une efficacité accrue. Cette capacité accrue est particulièrement bénéfique pour les environnements de production à haut volume où le débit et le rendement sont des considérations critiques. Le système offre également une 500W source de lumière NUV (Near Ultraviolet), permettant une exposition rapide des matériaux photorésistants avec une haute résolution et une excellente uniformité sur toute la surface du substrat. Un des attributs remarquables de l'alignement de masque ABM/8/500/NUV/DCCD/M est son unité d'alignement avancée, incorporant une technologie sophistiquée DCCD (Digital Color Compensation Device). Cette caractéristique exclusive améliore la précision d'alignement en compensant les variations de couleur qui peuvent survenir au cours du processus d'alignement, assurant un recouvrement précis des motifs de masque sur le substrat. La technologie DCCD minimise efficacement les erreurs d'alignement et améliore les taux de rendement, ce qui rend la machine idéale pour les applications qui exigent une précision et une répétabilité exceptionnelles. En outre, ABM/8/500/NUV/DCCD/M masque aligner est équipé d'un outil de microscope intégré qui offre un suivi et une inspection en temps réel des processus d'alignement et d'exposition. La capacité d'imagerie haute résolution permet aux opérateurs de vérifier la qualité de l'alignement, d'optimiser les paramètres d'exposition et de résoudre rapidement les problèmes, ce qui améliore le contrôle des processus et la productivité. L'actif microscope peut être intégré de manière transparente avec le logiciel d'alignement de masque pour améliorer l'automatisation et l'analyse des données, permettant aux utilisateurs de rationaliser leur flux de travail et d'obtenir des résultats cohérents avec une intervention manuelle minimale. ABM/8/500/NUV/DCCD/M masque aligner dispose également d'une interface conviviale avec des contrôles intuitifs et des paramètres personnalisables, le rendant accessible à la fois aux utilisateurs novices et aux professionnels expérimentés. Le modèle offre une gamme de modes d'exposition, y compris la proximité, le contact doux et le contact dur, pour répondre à divers matériaux de substrat et exigences de traitement. Les utilisateurs peuvent configurer des paramètres d'exposition tels que l'intensité, la durée et la stratégie d'alignement pour obtenir des résultats optimaux pour différentes applications de lithographie, du transfert de motifs au dépôt de couches minces. En outre, l'alignement de masque ABM/8/500/NUV/DCCD/M est conçu avec une construction robuste et des composants fiables pour garantir des performances à long terme et un temps d'arrêt minimal. L'équipement comprend des dispositifs de sécurité avancés, tels que des embrayages, des alarmes et des mécanismes d'arrêt d'urgence, afin de protéger les opérateurs et de prévenir les dangers potentiels pendant l'exploitation. De plus, l'alignement du masque peut être facilement entretenu et étalonné selon des procédures standard, ce qui améliore sa fiabilité globale et sa rentabilité pour les installations de fabrication de semi-conducteurs. Globalement, ABM/8/500/NUV/DCCD/M alignement de masque représente une solution de pointe pour des applications de photolithographie de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses fonctionnalités avancées, ses capacités polyvalentes et sa conception conviviale, ce système offre des performances et une efficacité inégalées pour produire des motifs complexes sur des substrats avec une précision et une répétabilité exceptionnelles.Que ce soit pour la recherche et le développement ou pour une production à haut volume, ABM/8/500/NUV/DCCD/M masque aligner est un outil précieux qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats supérieurs et de stimuler l'innovation en microélectronique et en nanotechnologie.
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