Occasion BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE #9409371 à vendre en France

BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE est un aligneur de masque utilisé dans le procédé de fabrication de semi-conducteurs. L'aligneur effectue une photolithographie pour la réalisation de puces de circuits intégrés. Il succède au modèle BROOKS AUTOMATION 300-SF et est un équipement pré-aligné entièrement automatisé conçu pour obtenir un transfert de modèle précis avec des résultats reproductibles et cohérents. Le masque aligneur se compose de deux composants principaux, un système de pas multi-axes (MASS) et une unité optique. Le MASS est un robot à six axes qui positionne avec précision les masques en alignement dans une fraction de micron. La machine optique est composée d'un illuminateur de masque, condenseur de lumière, lentille optique, et un mouvement d'étage de plaquette. L'optique est conçue pour fournir une uniformité d'exposition optimale, permettant à l'outil d'atteindre un haut niveau de précision de dimension critique. PRE-300-CE a une taille de champ de 6-7 cm et une résolution de 0,5-5 microns selon l'optique corrigée utilisée. L'actif dispose d'un illuminateur de 0,5/1,0 NA pour l'uniformité de l'exposition, l'exposition optique à basse bande d'énergie et l'amélioration de la latitude de traitement. L'illuminateur de masque est optimisé pour 365nm et dispose d'une modulation d'exposition intégrée pour améliorer le temps de contrôle de l'exposition. Il utilise une lampe I-line pour l'exposition, avec un modulateur de tension bipolaire alimenté pour un contrôle optimisé de la dose d'exposition à travers le champ d'exposition. L'aligneur dispose d'un traitement automatique par lots avec une capacité de mémoire intégrée de 150 masques, qui peuvent être programmés et stockés individuellement. Le modèle soutient l'exposition positive et négative ainsi que l'enregistrement die-to-die et die-to-image. Il a une capacité d'étalonnage automatisé et de moniteur de faisceau, fournissant un alignement rapide et précis des motifs de masque aux plaquettes. BROOKS AUTOMATION PRE-300-CE est conçu pour un fonctionnement efficace et la facilité d'utilisation avec une interface graphique facile à utiliser. L'équipement est équipé d'un ensemble d'outils complet pour l'intégration dans des environnements de production à grand volume et à haut débit. Il est compatible avec une variété de substrats, y compris Si, GaAs, InP, et SOI, ce qui le rend bien adapté à une large gamme d'applications de semi-conducteurs.