Occasion BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT #9238460 à vendre en France

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign 542HT est un aligneur de masque conçu pour la lithographie de contact et de proximité de circuits intégrés, de capteurs et d'autres composants microélectroniques. C'est un équipement automatisé de microlithographie qui permet à l'utilisateur d'aligner et d'exposer avec précision une photomasque à un substrat en silicium. Le système se compose d'un cadre de machine, d'une tête d'alignement de masque et d'un mandrin à vide. Le châssis de la machine est construit à partir d'un alliage solide et fournit un support rigide pour les composants de l'unité. Il contient un bras basculant actionné pneumatiquement qui sert à régler la position de la tête d'alignement du masque, à faire tourner le masque en position et à assurer un positionnement précis et reproductible. Il est également équipé de pieds réglables qui assurent le cadre est niveau et stable. La tête d'alignement du masque est conçue pour contenir un photomasque d'exposition au substrat. Il est entraîné par un étage X-Y motorisé qui déplace la tête le long des axes x et y avec une précision allant jusqu'à 200nm et une vitesse allant jusqu'à 20mm/sec. La tête d'alignement du masque est équipée d'un réticule infrarouge sensible à la pression (IR) qui localise avec précision les photomasques. La tête contient également une machine à double foyer qui permet à un utilisateur de régler la focale de l'axe optique. Le mandrin sous vide est responsable du ramassage, de l'alignement et de la libération du substrat. Il se compose d'un étage de rotation mono-axe et d'un module de commande de mandrin à vide. L'étage de rotation est entraíné par un moteur pas à pas, permettant un positionnement précis et répétable du substrat. Le module de commande de mandrin à vide est conçu pour passer entre les modes de vide et de pression atmosphérique, assurant une fixation ou libération sécurisée du substrat. L'outil est équipé de plusieurs capteurs de sécurité et d'un interrupteur d'arrêt d'urgence. Les capteurs de sécurité comprennent la protection contre la surcharge de courant (COP) pour indiquer quand les moteurs pas à pas sont surchargés, des capteurs haute pression +/-2mm pour indiquer quand le porte-masque a quitté la position de démarrage, et un capteur de vide qui détecte les fluctuations du niveau de vide. L'interrupteur d'arrêt d'urgence est connecté au châssis et au moteur et peut être utilisé pour arrêter la machine en cas d'urgence. BSL Micralign 542HT est un aligneur de masque avancé conçu pour améliorer le débit, la qualité et la stabilité pendant la microlithographie. Sa combinaison de structure fiable, d'alignement précis et de contrôle automatisé en font un outil idéal pour la lithographie de contact et de proximité des circuits intégrés les plus complexes.