Occasion CANON MPA 500 Fab #293820815 à vendre en France
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ID: 293820815
Taille de la plaquette: 5"
Mask aligner, 5"
Spare parts:
(1) / Alignment scope / 5083309
(1) / Exposure lamp housing system / 5083304
(1) / Electronic carriage, mask stage / 5083310
(1) / Exposure unit / 5083323
(1) / Mirror, parts / 5083325
(1) / Power supply box for exposure unit / 5083305.
CANON MPA 500 Fab est un aligneur de masque de pointe utilisé en photolithographie. Il s'agit d'un outil de précision qui permet un prototypage rapide des composants des circuits semi-conducteurs grâce au revêtement photorésist, à l'alignement des masques de motifs et aux processus de photolithographie. Cet outil est capable de projeter le motif sur des plaquettes avec une précision nanométrique. CANON MPA 500FAB dispose d'une technique de revêtement VSC (Variable-Spray-Circle) qui permet un revêtement photorésist de haute qualité avec une grande uniformité et un faible taux de défauts. Cette technique de revêtement permet également un alignement à haute résolution des masques de motifs avec une large gamme de formes et de tailles de masques. Cette machine est équipée d'un système d'alignement tridimensionnel (3D) unique qui utilise un laser infrarouge pour détecter la position du masque de motif et assurer la précision du niveau nanométrique dans le processus de photolithographie. MPA-500FAB comprend également plusieurs mécanismes de sécurité tels qu'un volet de sécurité, des embouts de sécurité intégrés et une unité d'accostage de masque d'élimination de l'ozone. De plus, la machine est conçue pour permettre une intervention humaine minimale, éliminant ainsi la possibilité d'erreur humaine. MPA 500-FAB a la capacité de gérer une variété de tailles de masques et de rapports d'aspect allant de 1:1 à 16:1. En outre, il est compatible avec de multiples types de matériaux photorésistants tels que les photorésistants négatifs et positifs, ainsi que les résistances monocouches et multicouches. Cet outil peut également supporter des modes d'alignement vertical et horizontal pour des plaquettes masquées. CANON MPA 500-FAB est une machine efficace et très précise qui est idéale pour plusieurs applications, y compris les procédés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de fabrication de plaquettes de silicium. Avec sa technique de revêtement VSC unique, son système d'alignement tridimensionnel et sa conception à intervention minimale, CANON MPA-500FAB est un aligneur de masque avancé et fiable capable de produire des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité.
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