Occasion CANON MPA 500 Fab #9410722 à vendre en France
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ID: 9410722
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1996
Mask aligner, 5"
Control box
Lamp power supply
Missing parts:
CTC Unit
Conduit
1996 vintage.
CANON MPA 500 Fab est un aligneur de masque avancé utilisé dans la fabrication de plaquettes de circuit intégré (IC). Ce dispositif utilise un processus d'alignement précis et automatisé qui réduit le besoin d'alignement manuel des photomasques et des plaquettes IC. CANON MPA 500FAB utilise un équipement d'inspection vidéo haute résolution et un système de détection de déplacement sans contact pour assurer des alignements précis des marqueurs visibles et des limites précises des motifs. L'alignement du masque est conçu pour maintenir la planéité de la plaquette pendant le processus d'alignement et de lithographie. Le dispositif dispose également d'une unité de balayage et de positionnement précis, qui assure une transition en douceur pour la capacité de recouvrement de précision. MPA-500FAB est équipé d'un étage de haute précision qui offre des vitesses de balayage rapides et un positionnement précis. De plus, le dispositif dispose d'un servomoteur de mise au point de haute précision qui permet de focaliser le faisceau dans la zone de configuration correcte avec des résultats très précis. L'aligneur de masque est équipé d'un outil d'imagerie CCD et d'un atout d'éclairage multi-longueurs d'onde qui facilite l'alignement des couches sans soudure. De plus, l'appareil est capable d'exposer jusqu'à 100nm de lignes et de motifs spatiaux et a une surface d'exposition maximale de 200mm x 200mm. Pour garantir une précision d'exposition rapide, précise et précise, l'appareil comprend un modèle de contrôle d'exposition multi-zones et un équipement de correction automatique haute résolution. CANON MPA 500-FAB est capable de fonctionner à haut débit, avec un débit de 120 wafers par heure. Le dispositif est capable d'effectuer plusieurs processus d'exposition en un seul cycle, ce qui le rend adapté à une production de masse à haut volume. L'appareil ne nécessite qu'une maintenance minimale, utilise une interface utilisateur simple et répond aux normes de sécurité ANSI pour une fiabilité à long terme.
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