Occasion CANON MPA 500FA #293819197 à vendre en France

CANON MPA 500FA est un alignement de masque entièrement automatisé qui permet un alignement précis et précis des plaquettes. Il est conçu pour répondre aux exigences des processus de photolithographie dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Cet aligneur est équipé du dernier système optique de haute précision et offre une grande précision, un excellent débit et un alignement fiable. CANON MPA-500FA dispose d'un grand champ de vision indépendant et plat (FOV) qui améliore la précision et le débit d'alignement. Les étages réticule et plaquette offrent une excellente répétabilité, offrant des variations de plaquette à plaquette exceptionnellement faibles et permettant un fonctionnement fiable pour la fabrication de dispositifs de haute précision. Il est optimisé pour une gamme de substrats, y compris des plaquettes collées, et est un outil particulièrement adapté pour des services impliquant des chevauchements de motifs multiples et des applications à haute résolution. Cet alignement de masque utilise une procédure d'alignement en trois étapes pour l'enregistrement de masque. Le système mesure des motifs de cibles numériques sur le masque et la plaquette, puis effectue un processus d'acquisition d'image multi-trames pour superposer les motifs. Enfin, un algorithme de recherche global est utilisé pour maximiser les corrélations de motifs afin d'obtenir un enregistrement précis. Il en résulte une meilleure précision d'alignement et un débit élevé. De plus, le MPA 500 FA offre également une gamme complète d'outils pour un fonctionnement efficace, tels que la reconnaissance des bords, le référencement des plaquettes et des masques et le réglage automatique des foyers. Ces caractéristiques aident à simplifier le processus de mise en place de la machine et assurent qu'elle fonctionne de manière fiable pour atteindre l'alignement souhaité. Le réglage automatique de la focale permet des réglages rapides et faciles pour tenir compte de l'évolution des modèles de substrat ou des conditions environnementales. Dans l'ensemble, CANON MPA 500 FA est un excellent aligneur de masque automatisé qui est très précis et fournit un haut débit. Le système optique avancé, le processus d'acquisition d'images multi-trames, et plusieurs autres fonctionnalités lui permettent d'atteindre un haut degré de précision et de fiabilité. Cet outil polyvalent est adapté à une variété de procédés de photolithographie dans la production de semi-conducteurs.