Occasion CANON MPA 500FA #293821331 à vendre en France

CANON MPA 500FA est un adaptateur de masque multi-gaz haute performance qui est adapté pour la production de photomasques de haut volume, la recherche-développement et les applications d'imagerie. Ses principales caractéristiques comprennent une taille de mise en page sélectionnable par l'utilisateur de 50mm x 50mm à 500mm x 500mm, avec une taille de plaquette maximale de 200mm, jusqu'à l'enregistrement tridimensionnel pour les objets complexes et l'enregistrement de cadre de mise au point automatique pour une meilleure précision d'alignement. Il dispose également d'un grabber de motif pour une configuration plus rapide des grandes zones et d'un mécanisme automatique de changement d'échantillon pour un débit plus rapide. Son étage multi-axes de haute précision permet de contrôler simultanément le pas du dispositif, la précision de recouvrement et la précision de retrait. Il peut gérer des tailles de pixels de 1,5 - μ m et fournit un débit élevé de 1500 wafers/heure pour des cadres identiques. De plus, il offre un alignement d'étape de haute précision qui assure une répétabilité à 1 µm et une précision d'enregistrement de référence à 0,3 µm. CANON MPA-500FA a également été conçu pour réduire la dégradation des particules et accroître la propreté. Ceci est réalisé grâce au profil autoportant qui isole les composants de substrat et de photomasque les uns des autres. De plus, les micro-bulles dans le liquide d'immersion du scanner de motifs préservent l'intégrité des motifs et réduisent la distorsion potentielle des résultats de balayage. MPA 500 FA utilise le logiciel CANON propriétaire CANON GIM (Gene Image Metrology) qui offre une architecture logicielle unique pour améliorer la précision d'alignement, la vitesse de débit et la précision de mesure. Ce logiciel dispose d'une bibliothèque intégrée de traitement d'image qui surveille des centaines de défauts et fournit de puissantes capacités de reconnaissance de motifs pour l'enregistrement. Globalement, le masque aligneur MPA 500FA est conçu pour des projets de production et de développement à l'échelle de la tranche et offre une précision d'alignement supérieure, des vitesses de débit plus élevées et une meilleure précision de mesure. Cela en fait le choix idéal pour la production de photomasques à haut volume et les applications de recherche et développement.