Occasion CANON MPA 500FA #9226333 à vendre en France

CANON MPA 500FA est un aligneur de masque pour la fabrication en série de dispositifs semi-conducteurs. C'est un équipement entièrement automatisé conçu pour fournir des niveaux élevés de précision de processus et de débit. CANON MPA-500FA a été conçu à partir d'un système d'exposition à quatre points utilisant une lampe au xénon. L'unité d'exposition utilise deux lampes à halogène à quartz amélioré en rubis pour un éclairage uniforme et deux systèmes de défixation optique motorisés pour un alignement à grande vitesse. La machine est capable de traiter jusqu'à cinq plaquettes 1x1 ou quatre plaquettes 4x4 par lot, et est équipée d'un indexeur pour la rotation à grande vitesse et un temps de remise à zéro de 10 secondes. Le MPA 500 FA est équipé d'un outil de reconnaissance de motifs à grande vitesse et d'algorithmes de traitement d'image pour l'alignement des plaquettes avec des superpositions nano-échelles. L'alignement de la plaquette est réalisé par balayage d'un réseau CCD linéaire équipé d'un processeur de masque d'ombre numérique. Ce processeur est chargé de détecter et de reconnaître les repères d'alignement et est capable de corriger des variations minuscules de la structure de chaque plaquette. En outre, MPA-500FA est équipé d'un atout de focalisation automatique de 8 positions, permettant un haut degré de précision dans les mesures de superposition. CANON MPA 500 FA offre une excellente précision de recouvrement, jusqu'à 0,53 microns avec 85nm de longueur d'onde, et dispose d'un modèle automatisé de contrôle des processus qui produit des caractéristiques d'exposition répétables. L'équipement supporte une gamme de processus, y compris le contact, la projection et la lithographie du faisceau d'électrons à balayage. Une plaque scanner est utilisée pour permettre jusqu'à dix couches de film (s) transparent (s) par procédé. MPA 500FA est compatible avec la plupart des matériaux d'exposition standard et peut fonctionner à des températures allant jusqu'à 105 ° C. CANON MPA 500FA est une solution économique pour les dispositifs semi-conducteurs de production de masse et peut être facilement intégrée aux systèmes de production existants. Le système offre des performances efficaces et fiables, et peut être adapté aux exigences spécifiques de la fabrication des appareils. L'interface utilisateur intuitive et les fonctionnalités puissantes en font un choix idéal pour la fabrication de composants optiques très précis.