Occasion CANON MPA 600 FA #190737 à vendre en France

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ID: 190737
Taille de la plaquette: 4"-6"
Aligners, 4"-6" Mask sizes: 5”-7” Resolution: 1.5 um (Using positive resist) Illumination: High pressure mercury lamp: 2 kW Wavelengths: 365nm (I-Line), 405nm (H-line), 436nm (G-line) Intensity: (@ 1800 Watts power output) >700mW, 4" >650mW, 5" >600mW, 6" Intensity / Exposure uniformity: Within ± 3% CTC: Monitors and controls system temperature within ±3°C PDC: Provides fine distortion compensation Automatic alignment: HeNe (633nm) Laser beam scanning Alignment modes: Spot beam / Sheet beam Accuracy: 3 Sigma <=.54 um MPA-600 FA: 200 VAC, 3-Phase, 6 kVA, 50/60 Hz Air supply (CTC): 200 VAC, 3-Phase, 8 kVA, 50/60 Hz CDA (Clean dry air) Pressure: Flow rate 130 lit/min Vacuum: >50 cmHg Exhaust flow (For illuminator): 6.5 m/sec - 9.5 m/sec (Measured at illuminator output).
CANON MPA 600 FA est un aligneur de masque automatisé qui est utilisé pour produire des circuits intégrés (IC) de la plus haute qualité possible. L'équipement de haute précision permet une grande précision et répétabilité. Il est équipé d'un aligneur de projection de champ fendu de 6 pouces, d'une source de faisceau d'ions à longue durée de vie et d'une photo-cible à haute résolution. CANON MPA600FA a un aligneur de projection de champ fendu qui permet un alignement précis, reproductible et de haute précision entre le masque de lithographie et le substrat cible. Cela garantit la plus grande précision et la plus grande fidélité au registre pendant le processus d'impression. Le système dispose également d'une source longue durée de vie de faisceau d'électrons qui permet une lithographie propre et fiable dans le processus de production de 200 mm IC. MPA-600FA intègre également une cible photo pour mesurer les paramètres d'alignement avec une précision et une répétabilité supérieures. L'unité de lithographie par faisceau d'électrons fonctionne à des vitesses très élevées et permet des pistes de processus jusqu'à 110 µm ainsi qu'une précision de placement de masque allant jusqu'à 0,1 µm. L'unité dispose également d'une machine vidéo optique intégrée pour une configuration, un alignement et un entretien faciles. CANON MPA 600FA dispose d'une variété de fonctionnalités conviviales telles que quatre programmes qui permettent aux utilisateurs de stocker jusqu'à quatre types différents d'alignements masques-plaquettes. L'outil est également livré avec des capacités avancées de traitement des données, fournissant aux utilisateurs des mesures en temps réel pour la performance des processus. Un graphique intégré de révision statistique permet également une analyse rapide des données et un réglage fin pour les FABs nécessitant le plus haut degré de contrôle des processus. Dans l'ensemble, MPA 600 FA est un leader reconnu dans la production de lithographie avec ses capacités de production d'IC extrêmement haute précision. La source de faisceau d'ions à longue durée de vie, la photo-cible à haute résolution et la vitesse et la précision de l'alignement en font le leader de la production de circuits intégrés reproductibles dans l'industrie des semi-conducteurs.
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