Occasion CANON MPA 600 FA #293608401 à vendre en France

CANON MPA 600 FA est un alignement de masque entièrement automatique utilisé pour aligner précisément les caractéristiques de photomasque pour les caractéristiques de mort sur les plaquettes. Il est spécialement conçu pour la production de circuits intégrés, de MEMS, de dispositifs optiques et de dispositifs 3D tels que les emballages haute densité et les écrans. CANON MPA600FA est basé sur un équipement optique d'immersion qui permet l'imagerie haute résolution des motifs jusqu'à 25 nanomètres. Il utilise des étages d'alignement de haute précision pour le positionnement des plaquettes et des masques, assurant une précision d'alignement de haute précision. MPA-600FA a également un auto-focus intégré pour la plaquette et le masque, minimisant le temps de travail nécessaire à la mise en place de l'alignement. MPA 600FA dispose d'un stepper intégré pour permettre la fonction d'édition de superposition des motifs et le processus de compensation 3D. Cela garantit une grande précision d'enregistrement même avec de longs temps d'exposition, donnant un alignement de précision des motifs jusqu'à 25 nanomètres avec la précision d'enregistrement standard 1:1 de l'industrie. Il fournit également un px fiable. fonction de détection de diagramme de fidélité permettant de détecter un décalage entre le décalage de précision d'alignement et les réseaux de référence pour une compensation ultérieure. MPA600-FA offre également un dispositif de correction d'image pour l'alignement des plaquettes de recouvrement de motifs sur les plaquettes ainsi que pour l'alignement des masques sur les plaquettes. MPA600FA dispose d'un système de génération d'images LED qui supporte des temps d'exposition allant de 4 à 40 microsecondes. Cela le rend adapté à la plupart des processus de fabrication de micro à nanomatériaux. CANON MPA600-FA offre également une gamme complète de traitements d'éclairage et de substrat afin que les motifs photomasques puissent être transférés vers les substrats désirés. Cela permettra une cohérence à long terme dans les modèles et la précision des dispositifs. CANON MPA-600FA dispose également d'une fonction de métrologie des plaquettes qui mesure les caractéristiques des plaquettes et des masques pour s'assurer que l'appareil est de l'étalonnage souhaité. L'unité comprend une machine d'imagerie haute résolution qui est capable de lire des motifs en 2 dimensions sur le masque avec une source lumineuse. Cette technologie permet d'imaginer avec précision les motifs des masques et d'obtenir moins de désalignements du motif des photomasques et des caractéristiques des dispositifs. CANON MPA 600FA est un excellent choix pour la production d'appareils de haute précision avec précision dans la gamme des nanomètres. Cet outil est conçu pour être utilisé dans les paramètres de production avec ses étapes d'alignement avancées, auto-focus intégré, montage de superposition de motifs, et la technologie de correction d'image. Il est fiable, précis et offre une cohérence à long terme des motifs et de la précision des appareils.