Occasion CANON MPA 600 FA #293609496 à vendre en France

CANON MPA 600 FA est un aligneur pas à pas entièrement automatisé qui est utilisé dans le processus de photolithographie de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un aligneur de masque qui peut aligner avec précision un motif défini sur un photomasque sur une plaquette photorésistante exposée. Pour ce faire, on projette le motif du masque sur la plaquette recouverte de photorésist et on transfère l'image sur la plaquette. CANON MPA600FA dispose d'un système intelligent de balayage à double zone pour un enregistrement et un alignement précis, ce qui le rend idéal pour des applications précises de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il dispose d'une source lumineuse à LED, qui fournit un excellent niveau de luminosité pour une résolution de conception améliorée et la fidélité des motifs. Une fonction d'inspection automatique intégrée permet de détecter automatiquement une position d'alignement optimale. Les caractéristiques de la machine comprennent son débit élevé, sa précision et sa précision de positionnement. MPA-600FA a une précision d'alignement laser ± 6 μ m, lui donnant des capacités d'alignement précises. De plus, le système supporte une large gamme de substrats tels que le verre, les plaquettes de silicium et les substrats de quartz. La fonction d'inspection automatique intégrée permet de détecter les défauts et les petites tailles de particules tout en scannant de grands substrats. Le système peut traiter des substrats de 8 pouces à 12 pouces de diamètre sans nécessiter de réglage. De plus, CANON MPA-600FA dispose d'un ensemble opto-mécanique qui permet un alignement fin par interférométrie laser, fournissant un masque précis à l'alignement de recouvrement de la plaquette. Il dispose également de capacités de réseautage numérique, permettant la télécommande de la machine. En outre, il prend en charge l'entrée de données basées sur CAO pour la fabrication de masques et la vérification de conception. La machine est prête ATE, fournissant un contrôle intégré entre l'ATE et aligner. Dans l'ensemble, CANON MPA600-FA est un aligneur de masque idéal pour une fabrication fiable et précise de dispositifs semi-conducteurs. Avec son large éventail de caractéristiques, son support flexible et sa précision, il fournit aux fabricants des résultats cohérents et précis.