Occasion CANON MPA 600 FA #9058852 à vendre en France
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Vendu
ID: 9058852
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1992
Mask aligner, 6"
Mercury lamp, USH-2002MA.
CANON MPA 600 FA est un aligneur automatique de masque plein-wafer. Il s'agit d'un outil utilisé par les fabricants d'appareils électroniques avancés pour transférer des motifs d'un modèle sur un substrat ou sur la surface d'un appareil. L'aligneur est conçu pour la précision et la précision sur une grande surface, ce qui en fait un choix idéal pour la production moderne de semi-conducteurs. L'équipement est équipé d'une grande surface de lithographie de 600 mm (23,62 po) et d'une résolution de 10 nanomètres (nm). Il dispose d'une longueur d'onde améliorée de 248nm et 248nm pour l'exposition au motif et la précision d'alignement. Son système breveté « auto-alignement » assure un alignement rapide et précis du substrat et du gabarit sur son étage de masque. L'unité comprend quatre composants principaux : 1) Étape de masque : Cette plate-forme positionne à la fois le gabarit et le substrat sur la zone de lithographie, assurant une précision répétable. Sa plage de transfert est de 300mm et peut être ajustée pour accueillir différentes tailles de substrat. 2) Machine d'éclairage : L'outil d'éclairage de CANON MPA600FA fournit une luminosité ultra-élevée pour une exposition uniforme à l'aide d'une source lumineuse avancée. Il peut générer une imagerie haute résolution d'environ 10nm, ce qui le rend idéal pour la fabrication de motifs haute densité sur des substrats semi-conducteurs. 3) Atout d'alignement : Ce modèle fournit une précision et un contrôle d'alignement avancés avec son équipement bisectoriel et actionneur angulaire précis. Il permet un alignement et des réglages au niveau de la plaquette pour garantir une précision d'exposition maximale. 4) Unité Z-Axis : L'unité Z-Axis maintient la hauteur de la structure du masque pour faciliter le réglage. Il fournit également la meilleure précision possible de l'enregistrement du masque via le contrôle indépendant des bords et l'auto-alignement. MPA-600FA est un outil puissant pour toute production de technologie de pointe et est conçu pour fournir un transfert de modèle de haute précision. Ses systèmes avancés d'éclairage, d'alignement et de précision, ainsi que sa vaste zone lithographique, font de CANON MPA 600FA un choix idéal pour la production d'appareils électroniques de haute précision.
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