Occasion CANON MPA 600 FA #9060105 à vendre en France
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Vendu
ID: 9060105
Projection aligner, 6"
Slit: 1.6mm
Includes:
Illumination power check meter, 7”
Focus tilt mask, 7”
DR Mask
Projection system:
Projection mirror:
Total reflection UM02
Magnification: 1x
Image size:
Stationary: Arcuate image 150 mm (L) x 1.6 to 2.0 mm (W), with radius of 95 mm
Scanning: Φ6 (150 mm) Over entire surface, excluding that under (3) disk claws
Magnification: 1x
Effective F number: Fe 3.5
Wavelengths used:
Printing (UV): 365 nm (i-line), 405 nm (h-line) & 436 nm (g-line)
Manual alignment: E-line (546 nm) & orange light
Auto alignment: 633 nm (He-Ne Gas laser)
Illuminator:
Light source:
USHIO ELECTRIC USHY-2002MA 2 kW Super-high-pressure mercury lamp
Illumination range:
Length: 150 mm
Width: 1.6 to 2.0 mm
Radius: 95 mm
Illumination uniformity: Within ±3%
Effective light source: σ = 0.7, σ = 0.6, σ = 0.5
Exposure:
Scanning speed: Φ5" (Φ125 mm)
Setting range: 5.0 - 150.0 sec (for 5" wafer)
Setting units: Uniform 0.1 sec increments
Scanning mechanism:
Feed / Control methods
Closed loop method with DC servo motor drive
Scanning speed: 5.0 to 150.0 sec (25 mm/sec-0.83 mm/sec) for 5" wafer
Carriage position setting:
Setting range: -75 mm to 75 mm
Increment: 0.01 mm
Setting accuracy: ±10 /µm
Alignment scope:
Objective lens: 10x, NA 0.2
Eyepiece: 10x, 15x
Erector lens: 1x, 2x, 3x
Low-magnification lens: 0.3x
Distance between objective lenses:
30 to 109.6 mm (Traveling simultaneously on both sides of center position)
Setting range of objective lens distance: 30.00 to 109.6 mm in 0.02 mm increments
Focusing travel (both fields of view): ±2 mm
Auto alignment:
Laser beam scanning
Light source: He-Ne Gas laser (633 nm), polarized type 5 mW
Dedicated patterns are used for auto alignment
Offset control: Read/write possible in range of 0 to 7.9 /µm
Tolerance setting: 0.25 (0.15) /µm, 0.5µm, 1 µm
Auto alignment time: Within 7 sec
Observation in auto alignment mode possible
Auto feeder:
Auto/manual switching: Automatic / Manual wafer feed selectable
Feed method: Belt & auto hand
Wafer size: 4"-6"
Applicable carrier: FLUOROWARE Type carrier: Standard
Capacity: 25 wafers
Pitch: 3/16"
Projection system focusing:
Focus adjustment: ±1.5 mm
Travel amount obtained by one rotation of knob: 10 µm
Power supply:
MPA-600FA: 200 VAC, 3Φ, 6 kVA, 50/60 Hz
Air supply unit: 200 VAC, 3Φ, 8 kVA, 50/60 Hz.
CANON MPA 600 FA est un aligneur de masque de haute précision développé par CANON pour l'emballage au niveau des plaquettes. C'est un instrument complet qui offre un large éventail de fonctionnalités et de capacités, ce qui le rend idéal pour une large gamme d'applications de fabrication de dispositifs. CANON MPA600FA utilise un équipement d'alignement de projection haute résolution qui utilise la lumière infrarouge pour projeter et aligner précisément le motif de masque sur la surface de la plaquette. Ce système permet des réglages de position fins et facilite l'alignement précis et répétable du motif de masque sur la surface de la plaquette. MPA-600FA est également équipé d'une unité de recuit laser de haute puissance, permettant aux utilisateurs de traiter thermiquement certaines zones de la plaquette à diverses fins. Cette machine est capable de produire une chaleur uniforme sur l'ensemble de la plaquette, assurant une formation de surface uniforme et évitant la défaillance du dispositif en raison de problèmes liés à la température. Le MPA 600 FA est équipé d'un porte-masque métallique conçu sur mesure qui permet aux utilisateurs de positionner et de fixer le masque métallique avec précision sur la plaquette lors de l'alignement. Il dispose également d'un Stepper optique automatisé, ce qui augmente considérablement la vitesse et la précision du processus d'alignement. CANON MPA 600FA comprend également un outil de contrôle automatisé qui facilite le fonctionnement et la gestion de l'instrument. Cet atout comprend une interface graphique conviviale, permettant aux utilisateurs d'effectuer diverses opérations, telles que sélectionner des paramètres ou contrôler des masques, sans aucune formation préalable. CANON MPA-600 FA offre également une variété de fonctions de sécurité pour protéger l'utilisateur et l'appareil, y compris un modèle d'arrêt automatique en cas de fonctionnement anormal et un filtre à poussière intégré pour empêcher la poussière et les débris d'entrer dans l'instrument. CANON MPA-600FA est un excellent choix pour les fabricants de dispositifs semi-conducteurs qui ont besoin d'un instrument d'alignement de masque de haute précision. Avec ses capacités puissantes, son équipement d'alignement précis et ses caractéristiques de sécurité avancées, MPA-600 FA est un outil idéal pour obtenir des résultats optimaux dans les applications d'emballage au niveau des plaquettes.
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