Occasion CANON MPA 600 FA #9109111 à vendre en France

CANON MPA 600 FA est un aligneur de masque de pointe pour des applications telles que la nanomanufacturation, la lithographie nano-empreinte (NIL) et le dépôt en couches minces. Il a été construit avec des normes de pointe de l'industrie et est capable de fabrication et d'analyse de précision au niveau sub-micron. La pièce maîtresse de CANON MPA600FA est son laser puissant 63-Watt CO2, qui génère des intensités d'exposition et des profondeurs de focalisation extrêmement élevées. Cela permet une exposition extrêmement précise et uniforme des motifs de masques sur une variété de substrats différents, des plaquettes photo-résistantes aux matériaux de verre et de silicium. Avec sa haute résolution de 0,01 µm, il est compatible avec la plupart des fonctionnalités trouvées dans les conceptions actuelles de circuits intégrés (IC). En outre, MPA-600FA est équipé de deux étages de moteurs linéaires 6 axes contrôlés avec précision. Ces étapes permettent une précision de pointage précise et reproductible, lui donnant la possibilité d'effectuer des applications d'alignement sur des structures fines et détaillées à des vitesses élevées. La machine est encore améliorée par la technologie MAVIC/AFH (Multi-Axis Variation Control and Auto-Focus Height) brevetée CANON. Grâce à l'utilisation de têtes de capteurs adaptatives intégrées et à la rétroaction informatique, le système MAVIC/AFH permet un contrôle dynamique de la table de mouvement, évitant automatiquement les erreurs dues à la conception du plan et aux variations du substrat. De plus, CANON MPA-600FA est équipé d'un système de contrôle d'exploitation avancé qui permet un fonctionnement facile et efficace. Grâce à l'utilisation du réseau EtherCAT, les utilisateurs peuvent facilement accéder aux systèmes de contrôle/surveillance des processus, ce qui leur permet de surveiller et de contrôler l'état et la modification de la machine depuis tout ordinateur connecté à distance à la machine. Pour assurer une production harmonieuse, le masque aligné est également équipé d'un mandrin à vide chauffé et d'une pompe à vide, qui ensemble peuvent déposer juste la bonne quantité de vide afin de maintenir les substrats en place. Enfin, CANON THERMON fournit des capacités avancées de gestion de la température pour l'alignement du masque. Cela permet de maintenir une température optimale pour les différents composants de la machine, assurant ainsi la précision de l'exposition. Le MPA 600 FA est donc un outil incroyablement polyvalent pour la fabrication et l'analyse de précision. Avec ses normes de pointe et ses fonctionnalités avancées, MPA600FA est sûr de devenir un pilier dans une variété d'ateliers de fabrication.