Occasion CANON MPA 600 FA #9250757 à vendre en France
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Vendu
ID: 9250757
Taille de la plaquette: 5"
Mask aligner, 5"
Cassette type: Single
Mask size, 6"
Slit size: 1.6 mm
Main body:
Illumination system
Alignment scope
Lab unit
Mask stage
Wafer stage
Pre-alignment unit
Auto feeder
Operation panel
Lamp power supply: AC 200V
CTC Unit:
No TDC
AC 200V
Control unit:
AA1
AA2
AA3
AA4
PFD SV Drive
MPU
AS / IL / ML
Mask stage IF
Wafer stage IF (I)
Wafer stage IF (II)
VAC Switch IF
Scan stage
Panel IF
MV/ TT / AF IF
AF MPU III
AF IF2 (III)
Scan drive
DC Power supply
Accessory box 1:
(3) Hoses
Exhaust elbow
Gauge, push arm, focus knob, screws
Pre-aligner
(2) Manuals
(2) T-handlers
Glass mask
Black guide cover
Auto hand
Mask holder
Wafer disk
Accessory box 2:
Monitor / Stand
(2) Wafer chucks
Fan
(2) Cables
Camera
Camera power supply
Slit unit
Light unit-led type
Microscope head
Locking condition:
Main body locking
Lab locking
Wafer stage locking
Mask stage locking
Lens locking
Auto feeder locking.
CANON MPA 600 FA est un aligneur de masque de pointe de CANON qui offre des capacités avancées pour la lithographie par faisceau d'électrons. Le dispositif est capable d'obtenir une imagerie haute résolution avec un marquage uniforme sur une variété de substrats. Il dispose d'un microscope électronique à balayage de haute précision avec un étage xyz motorisé pour fournir un alignement de contact supérieur et une faible distorsion pour chaque couche du masque développé. L'équipement logiciel comprend une interface facile à utiliser pour les conceptions de mise en page définies par l'utilisateur et offre une grande variété d'outils pour aligner les masques avec précision. Le système est compatible avec une variété de films et de matériaux de résistance, et a une résolution inférieure à 0,5 μ m pour un tissage de haute précision. L'unité est également dotée d'une large gamme de fonctionnalités pour le test et la vérification de l'appareil, telles qu'un étage de plaquette d'auto-réglage et un moniteur de prise de vue automatique. La tension sur l'écope, l'installation de sondes de plaquettes, ainsi que les lignes de référence de l'écriteau laser, peuvent tous être réglés automatiquement, ce qui permet un alignement précis du masque. De plus, l'environnement à vide élevé à l'intérieur de la chambre empêche les facteurs environnementaux d'influencer le trajet optique du faisceau d'électrons. Le dispositif a une capacité de débit élevée et est facilement intégré à une machine d'automatisation en usine. Il est conçu pour produire des taux de rendement élevés et des résultats cohérents lorsque la lithographie à haut débit est nécessaire. Il peut accueillir des substrats jusqu'à 8 pouces de taille, et est également livré avec un étage motorisé pas à pas pour des étapes précises dans le processus de développement. Dans l'ensemble, CANON MPA600FA est un adaptateur de masque puissant et convivial qui offre des conditions précises avec un débit élevé et des temps de traitement rapides. Sa flexibilité et sa précision le rendent parfait pour les prototypes et les séries de production à haut volume.
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