Occasion CANON MPA 600 FA #9316593 à vendre en France
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Vendu
ID: 9316593
Taille de la plaquette: 5"
Mask aligner
JEIDA Flat-finder, 6"
Wafer chucks
Astigmatism: < 2.0 µm
Method: Measure vertical and horizontal
Focus: < ± 2.0 µm
Method: Deviation using tilting mask
Uneven focus: < 2.0 µm
Intensity: > More than 400 mW
Method: SLIT 1.6 mm
Uniformity: < ± 3%
Method: 11-Points measure integrated intensity in CANON IUC-M3
Distortion: [MX] ≤ 0.4 µm, [MY] ≤ 0.4 µm, [DR] ≤ 0.3 µm
3σ ≤ 0.5 µm
Exposure performance:
Exposure field: R 95 mm
Resolution: 1.8 - 2.0 µm
Exposure wavelength: 365 nm (L), 405 nm (H), 436 nm (G) Line complex wavelength
Reduction ratio: x1
D.O.F: ± 8 um (1.8 - 2.0 µm Line and space)
Illuminator:
Light source: 2.0 kW Super high pressure mercury lamp
Wafer alignment:
Alignment light source: He-Ne Laser (633 nm)
Alignment system: LBS (He-Ne Laser scan AA)
Alignment accuracy (3δ): ≤ .60 µm
Scanning mechanism:
Scan drive unit: Scanning carriage unit by DC motor drive
Scan range: 6" (160 mm), 5" (141 mm), 4" (119 mm)
Scanning speed: 5 to 150 sec (25 mm/sec - 0.83 mm/sec)
Alignment scope:
Viewing scope light resource: New style LED type
Erector lens:
Viewing lens: Manual moving
Erector: 1x, 2x, 3x
Mechanical pre alignment:
Pre alignment accuracy (Range): Φ 100 µm or less
Power supply: 200 VAC.
CANON MPA 600 FA est un aligneur de masque de haute précision conçu pour fournir des motifs lithographiques fiables et précis pour les appareils électroniques. Il dispose d'un équipement d'alignement avancé et d'une interface utilisateur intuitive, ce qui le rend facile à utiliser. Le système fournit une précision extrême avec son unité de positionnement ultra-haute précision et sa fonction d'auto-alignement. Les fonctionnalités de traitement automatisé permettent à l'utilisateur de créer des schémas complexes et précis. CANON MPA600FA a une surface efficace maximale de 600 mm x 600 mm et une résolution de 0,25 microns avec une précision de focalisation de 0,1 microns. Il est capable de génération de motifs haute résolution et d'exposition à l'échelle de gris 8 bits. Il utilise une source lumineuse PUV-U qui fournit un faisceau lumineux polychromatique propre et uniforme. En outre, il dispose d'une fonction de création automatique de motifs (APC) qui permet à l'utilisateur d'utiliser une large gamme de motifs de masque et de créer des motifs complexes rapidement. MPA-600FA est équipé d'une variété d'accessoires qui permettent l'alignement automatisé, le positionnement et l'exposition. Il dispose d'une commande de focalisation à actionnement pneumatique qui permet un réglage fin de la machine d'imagerie. Une étape d'alignement des miroirs permet de placer avec précision les réseaux de diffraction et les miroirs courbes pour l'alignement des masques et la stabilisation des foyers. La caméra de surveillance d'imagerie intégrée assure un positionnement précis du motif à visualiser. De plus, l'outil prend en charge les processus de développement à sec et à sec. CANON MPA-600 FA dispose d'un progiciel intégré qui permet à l'utilisateur de programmer les opérations et de surveiller les différentes composantes de l'actif. Il est également capable de communiquer avec des réseaux externes de production et de contrôle automatisés. Il est capable de produire différents types de motifs, des motifs de ligne standard aux motifs de forme complexe. En outre, le modèle prend en charge la conception et la vérification des processus de lithographie tels que OPC (Opto-Printing Check). Dans l'ensemble, le MPA 600 FA est un alignement de masque de haute précision qui fournit des motifs lithographiques fiables et précis. Il offre à l'utilisateur une extrême précision et flexibilité qui en font l'équipement idéal pour la création d'appareils lithographiques.
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