Occasion CANON MPA 600 Super #9057709 à vendre en France
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ID: 9057709
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2000
Mask aligner, 6"
2000 vintage.
CANON MPA 600 Super est un aligneur de masque de ligne conçu pour un usage professionnel. Il offre une large gamme de capacités dans le domaine de la photolithographie et des technologies d'emballage au niveau des plaquettes. La machine peut manipuler une grande variété de masques avec divers motifs et épaisseurs ainsi qu'avec jusqu'à un tiers de la taille d'une plaquette de 200mm. CANON MPA600SUPER est équipé d'un équipement optique monoplace à trois axes et huit zones offrant un alignement précis des marques d'alignement et des caractéristiques de l'appareil sur la plaquette. La conception du système permet un grand balayage de champ avec de multiples zones de concentration, éliminant le besoin de multiples passages au-dessus de la plaquette. De plus, l'unité dispose d'un détecteur de repères d'alignement intégré, qui sert à aligner précisément le masque sur la plaquette. La machine est conçue pour un fonctionnement à haut débit et peut traiter jusqu'à 3000 plaquettes par heure. La machine dispose d'un processeur de signal numérique de pointe ainsi que d'un contrôleur PID, assurant un contrôle précis et cohérent des processus. En outre, il utilise une technologie brevetée d'adaptation d'impédance RF pour un alignement très précis. En termes de caractéristiques, MPA-600SUPER offre une liste complète. Il fournit une taille de pas automatique de 1 µm ; une lentille de projection à 3 zones pour une irradiation uniforme dans toutes les zones ; une fonction de focalisation pour simplifier l'alignement manuel ; et un réglage de commande de défocus optique pour le réglage fin. Il est également équipé d'un laser automatique, qui s'ajuste automatiquement à l'intensité optimale du laser de focalisation et de la taille du spot. De plus, l'outil comporte un élévateur automatisé de plaquettes, permettant à l'utilisateur d'enlever facilement des plaquettes et de les charger de la chambre d'alignement. En outre, il dispose d'une diode laser UV intégrée pour un contrôle précis des impulsions pour l'exposition. Dans l'ensemble, MPA600SUPER est un aligneur de masque de ligne conçu pour un usage professionnel. Il combine une technologie de pointe avec des fonctionnalités faciles à utiliser, permettant un traitement de haute qualité et précis des plaquettes et des masques dans une gamme d'applications. Utilisant la technologie brevetée d'adaptation d'impédance RF de l'actif et le processeur de signal numérique de pointe, il fournit un alignement précis ainsi que des performances rapides, cohérentes et fiables pour les opérations à haut débit.
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