Occasion CANON PLA 500 Series #9007956 à vendre en France
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ID: 9007956
Lot of spare parts:
Complete set of PC boards
Extender card
Sequence indicator readout (Ideal diagnostic tool for fault finding)
Mother board, 2 off
Complete power supply board
6" Conversion kit in aluminium case
Elliptic mirror
Flat mirrors
UV Lamps
Lamp-heatsinks and power leeds
Lots of parts for gap setting unit
Lots of electronic components and sensors
Includes:
E-PROM Set
Lots of solenoids and other pneumatic parts
Lots of mechanical parts
Various original manuals.
CANON PLA 500 Series Mask Aligners offre un alignement de masque très fiable et économique pour les applications de photolithographie de précision telles que l'intégration ultra-échelle (ULSI) et les procédés d'emballage avancés. La série PLA 500 est adaptée à une gamme de procédés de fabrication tels que les transistors à couches minces organiques (OTFT) et l'intégration 3D, et est capable de manipuler une gamme de matériaux de substrat, y compris des polymères, du silicium et du verre. CANON PLA 500 Series Mask Aligners dispose d'un design de cadre fermé qui peut s'adapter à la fois aux dimensions standard et personnalisées des substrats. Il est capable de fournir une précision d'alignement supérieure avec une taille de tache inférieure à un micron. La machine est également équipée d'un système de capteurs d'alignement qui effectue le pré-alignement, ainsi que l'alignement fin sur deux axes pour la précision de l'alignement. PLA 500 Series comprend également une unité d'alignement d'image dédiée capable de résoudre les coordonnées exactes sur chaque masque et substrat. Le panneau tactile LCD convivial fournit des paramètres détaillés et une interface utilisateur pratique. CANON PLA 500 Series Mask Aligners fournit l'environnement de contrôle nécessaire pour les processus de photolithographie de haute précision tels que les opérations d'amélioration des paliers, la compensation de couche d'origine (OLC) et la manipulation de décalage de couche (LSM). En outre, la série PLA 500 comprend une fonctionnalité avancée de maison de méthane intégrée, permettant un temps de traitement plus rapide et l'alignement de précision des couches. La partie exposition de la série CANON PLA 500 peut être configurée pour accepter différents types de masques tels que positif et négatif sur un substrat de cent quarante millimètres d'épaisseur. La série PLA 500 est équipée de procédés d'exposition rapide tels que l'APC à économie d'énergie intégrée (ESAPC) et le parage automatique d'exposition des plaques (APT) pour améliorer le débit. En outre, la machine peut accepter des jigs et des supports personnalisés spécifiques à une variété de substrats, y compris des copeaux plats, des substrats empilés et stratifiés. Il dispose d'une chambre VAE mentale intégrée et d'un port de données à grande vitesse pour la lecture directe. Une interface logicielle conviviale permet aux utilisateurs d'ajuster les temps d'exposition et les taux d'alignement au besoin. Les aligneurs de masque CANON PLA 500 ont également des caractéristiques de sécurité avancées. Cela comprend un système de verrouillage qui empêche l'exposition lors d'un entretien non autorisé, et un système d'isolement d'entrée pour assurer un niveau de sol sûr. D'autres dispositifs de sécurité comprennent également un bouton d'arrêt d'urgence et un blindage optique et électrostatique intégré. Dans l'ensemble, la série PLA 500 est une solution économique, fiable et très précise pour les processus de photolithographie de production, offrant une précision d'alignement supérieure, des processus d'exposition à grande vitesse et diverses caractéristiques de sécurité.
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