Occasion CANON PLA 501 FA #293674409 à vendre en France

CANON PLA 501 FA est un aligneur de masque de micro-lithographie conçu pour modeler les puces IC utilisées dans l'industrie électronique. Ce dispositif est très précis et capable de contrôler l'alignement des motifs avec une précision allant jusqu'à 0,3 micron. CANON PLA-501FA est un aligneur de masque utilisé pour effectuer une exposition directe sur plusieurs substrats tels que le silicium, le polyimide et le Kapton. Il consiste en un étage de positionnement de précision qui peut déplacer le substrat selon trois axes et l'aligner avec précision avec l'ensemble de masques. Cet étage de positionnement peut supporter des substrats avec un maximum de 7 pouces de diamètre et d'épaisseur allant de 1 à 6mm. L'équipement utilise un ensemble à lentille haute résolution CANON avec une ouverture numérique de 0,60, un agrandissement de lentille de projection de 0,63 et une distance de travail de 8,0 mm. Cet ensemble de lentilles peut fournir une exposition à la projection ultraviolette plein champ avec une résolution minimale de 0,3 micron. PLA 501FA dispose de capacités de balayage et de suivi rapides, lui permettant de produire des masques de haute précision en peu de temps. Le système est équipé d'un interféromètre optique CANON qui est utilisé pour surveiller le déplacement plan, linéaire et angulaire de la surface du substrat à chaque exposition afin d'assurer un alignement adéquat. Cet interféromètre est couplé à une unité d'autofocus au microscope très sensible qui peut aligner avec précision la surface du substrat avec le masque. La machine peut être actionnée en mode manuel, semi-automatique ou entièrement automatique, ce qui lui permet d'être facilement adaptée à diverses exigences et environnements de travail. Pour éviter la contamination de l'environnement, l'air purifié par un ioniseur est constamment fourni. De plus, une caméra infrarouge est intégrée à l'outil, fournissant une image d'exposition par recouvrement qui peut être utilisée pour suivre dynamiquement la position et la zone d'exposition du masque au-dessus de la plaquette. Dans l'ensemble, PLA-501 aligneur de masque FA est capable de fournir un alignement de motif avec une précision allant jusqu'à 0,3 micron, ce qui en fait un outil précieux pour les puces IC dans l'industrie électronique.