Occasion CANON PLA 501 FA #9226338 à vendre en France
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ID: 9226338
Taille de la plaquette: 5"
Style Vintage: 1983
Mask aligner, 5"
1983 vintage.
CANON PLA 501 FA est un aligneur de masque très avancé qui a été conçu pour une utilisation dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est utilisé dans les techniques de photolithographie pour positionner avec précision des masques optiques et des motifs de transfert sur le substrat. L'alignement offre une précision exceptionnelle, offrant un haut niveau de répétabilité avec une précision d'alignement de 50nm. CANON PLA-501FA utilise un microscope de projection avancé avec un grossissement de 10x à 30x qui est composé d'un microscope binoculaire, d'un capteur d'image, d'un étage de montage, d'un séparateur de faisceau, d'un équipement de relais optique et d'une lentille télécentrique. Le microscope intègre un système optique catadioptrique HAD unique pour fournir un contraste et une résolution supérieurs. Le microscope est également livré avec une fonction de centrage automatique et un autofocus pour assurer la plus grande précision possible. PLA 501FA est capable d'adresser différents matériaux de substrat tels que le verre, le silicium, les diélectriques bas k et les substrats céramiques, ainsi que de fournir un alignement sur les structures de test. L'aligneur est également équipé d'une unité d'imagerie aérienne qui permet de détecter des marques d'alignement sur les plaquettes. La machine est composée d'un appareil photo numérique, d'un moteur pas à pas, d'un lecteur Z et d'un actionneur tournante. PLA-501 FA dispose d'un contrôleur d'outils qui dispose d'une interface tactile pour contrôler le processus d'alignement global. Il est livré avec un certain nombre de programmes embarqués qui peuvent être utilisés pour optimiser le processus d'alignement. Le contrôleur dispose également d'un ensemble complet d'outils d'alignement qui comprennent une fonction de détection de bord optique, une fonction d'alignement asymétrique et un programme unique de détection de bord. CANON PLA 501FA aligné est bien adapté pour une utilisation dans des environnements de production à haut volume, en raison de sa capacité à fournir des vitesses de débit élevées et une répétabilité d'alignement exceptionnelle. L'actif est très efficace, offrant des temps de cycle impressionnants de moins de 5 secondes avec un débit typique allant jusqu'à 250 plaquettes par heure. Dans l'ensemble, PLA-501FA est un aligneur de masque incroyablement avancé qui est capable de fournir une précision exceptionnelle et est adapté à une utilisation dans des environnements de production de haut volume.
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