Occasion CANON PLA 501 FA #9269096 à vendre en France
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CANON PLA 501 FA est un adaptateur de masque compact et entièrement automatisé spécialement conçu pour faciliter le masquage et la lithographie. Cet alignement de masque dispose d'un équipement d'alignement laser intégré avec une précision de cinq microns et des procédures d'alignement entièrement automatisées. Le masque aligneur utilise un mécanisme à double ressort pas à pas pour modeler avec précision les substrats de petit volume ainsi que les substrats de plus grande taille jusqu'à 6 pouces. De plus, le 501 FA est capable de bloquer des couches simples ou multiples de matériaux conducteurs et isolants sans avoir besoin d'un processus de décollage supplémentaire. CANON PLA-501FA dispose d'un système à vide ultra-élevé pour le traitement à basse température ainsi que d'une source de faisceau E et de multiples lentilles d'exposition programmables. L'unité à double instruction comprend l'alignement par déphasage et l'alignement des fenêtres pour assurer une précision maximale lors de l'alignement de caractéristiques inférieures à un micron. Une machine supplémentaire de cartographie de petite surface (SAM) permet à PLA 501FA d'augmenter la densité des motifs sur les appareils de précision. En outre, l'alignement de masque est livré avec un capteur de force bidimensionnel pour surveiller automatiquement l'état de l'outil et une variété de réticules haute résolution, y compris le chrome et le chrome sur le nitrure. PLA-501 FA est entièrement automatisé, ce qui le rend idéal pour les circuits intégrés et autres motifs nécessitant une lithographie plus précise. Toutes les caractéristiques de l'alignement du masque sont automatisées, ce qui élimine le besoin d'opérations manuelles et de longs temps d'installation. En outre, l'étage motorisé a la capacité de tourner à 90 degrés pour augmenter la productivité et la précision. D'autres fonctionnalités comprennent une interface intuitive homme-machine, une large gamme d'optiques d'imagerie, et une large gamme de solutions de gravure de haute performance. CANON PLA-501 FA est spécialement conçu pour l'alignement précis et la fixation de divers matériaux, y compris les couches Cu et Al. L'outil est également capable de lithographie submicronique, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de masquage et de lithographie. En outre, il dispose de débits multiples intégrés et de techniques de manutention automatisées, ce qui en fait un choix idéal pour des solutions de masquage respectueuses du budget. De plus, son interface conviviale le rend facile à programmer et à utiliser, ce qui lui permet d'être utilisé par les ingénieurs à tous les niveaux. En bref, CANON PLA 501FA est un aligneur de masque avancé, fiable et facile à utiliser, offrant une grande précision et flexibilité pour les applications de lithographie et de tissage à petite et grande échelle.
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