Occasion CANON PLA 501 FA #9270090 à vendre en France

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ID: 9270090
Taille de la plaquette: 4"
Mask aligner, 4" Automatic wafer handling Round chuck.
CANON PLA 501 FA est un aligneur de masque automatisé pour la photolithographie de précision et l'emballage au niveau des plaquettes. L'équipement est entièrement piloté par ordinateur, ce qui permet à l'utilisateur de configurer, surveiller et régler les paramètres à partir d'une unité centrale de commande. Le système comprend des fonctionnalités avancées pour l'exposition aux UV et l'emballage au niveau des plaquettes. CANON PLA-501FA est un outil d'alignement 5 axes conçu pour permettre un alignement ultra-précis des photomasques sur les substrats. L'unité comprend un étage de rotation x-y avec correction du poke central et un étage d'axe z pour contrôler la hauteur du substrat. De plus, la caméra oculaire d'un chat est utilisée pour détecter l'alignement du substrat sur le masque. PLA 501FA est capable de fournir une précision et une répétabilité élevées pour l'alignement des photomasques et des substrats. CANON PLA-501 FA se vante de deux modes d'exposition, à savoir le basculement et le double mode d'exposition. En utilisant un état de polarisation flip-able de la source lumineuse, la face avant et la face arrière du substrat peuvent être simultanément exposées. Ceci permet d'optimiser le débit tout en minimisant toute distorsion provoquée par la source lumineuse. En outre, PLA-501 FA offre une suite de capacités avancées pour les applications d'emballage au niveau des plaquettes. L'option de collage à basse température de la machine est idéale pour coller des puces délicates. L'outil utilise également des techniques d'encapsulation avancées pour protéger les assemblages de l'humidité et de la poussière. De plus, PLA 501 FA comprend la détection de marqueur avec PID (détecteur d'indication de position) pour assurer la précision de l'ensemble. Globalement, PLA-501FA est un aligneur de masque avancé qui offre d'excellentes performances en photolithographie de précision et en emballage au niveau des plaquettes. L'actif est capable de fournir des résultats fiables avec sa multitude de fonctionnalités et de capacités avancées.
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