Occasion CANON PLA 501 FA #9384106 à vendre en France

CANON PLA 501 FA est un équipement d'exposition laser automatisé conçu pour les processus de lithographie en une étape. C'est un outil idéal pour la recherche ou le développement de pointe en microélectronique, nanotechnologie, photonique et optoélectronique. Le système est composé de deux composants : le projecteur et la scène. Le module projecteur est une unité optique de haute précision pilotée par un laser solide de 532 nm de longueur d'onde, commandé par des moteurs pas à pas. Le projecteur fonctionne avec un faisceau à balayage continu à haute résolution qui fournit une mise au point, une exposition et un balayage lisses. Cela permet une lithographie précise, avec une précision de 1 µm ou mieux. Le module optique utilise également un microscope optique haute résolution pour fournir des images microscopiques vivantes avec le processus de lithographie pour le contrôle précis du processus et la rétroaction. Le module d'étage abrite le substrat, le masque et une machine d'alignement automatique, ainsi qu'un certain nombre d'autres composants qui peuvent être configurés pour permettre différents processus de lithographie. L'étage comprend un outil de contrôle de mouvement en boucle fermée, équipé d'étages de mouvement précis, associé à l'actif absolu de registre de position (APRS) pour un alignement précis. Ces éléments permettent un positionnement de haute précision jusqu'à 6-