Occasion CANON PLA 501 FA #9395478 à vendre en France
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CANON PLA 501 FA est un Masque Aligner haute performance conçu pour la production. Il offre des capacités de processus avancées tout en offrant un débit élevé, une grande précision et une facilité de fonctionnement. CANON PLA-501FA dispose d'un nouvel équipement optique laser, d'une source laser à faible taux de répétition et de processus automatisés pour l'alignement et le chargement des plaquettes. Le système optique laser PLA 501FA facilite l'alignement de précision des substrats et des masques. La source laser à faible taux de répétition produit des expositions rapides et précises, entraînant des dommages thermiques minimes au substrat et aux masques pendant le processus d'alignement. Les processus automatisés simplifient l'alignement des substrats et des masques, offrant un débit élevé. Le contrôleur intégré des plaquettes permet une flexibilité maximale dans le chargement automatisé des plaquettes, ainsi qu'une productivité accrue et une uniformité améliorée du processus d'alignement. CANON PLA-501 FA est capable d'exposer jusqu'à un pas de 25nm, et est capable de tolérances mieux que l'état de la technique pour la superposition et la focalisation. L'unité utilise une tête d'exposition qui est capable de 1440 nm expositions pour des capacités de réduction de 5x. Les spécifications pour l'optique et l'électronique sont conçues pour supporter des impulsions de 25 à 80 000 nm. Les alignements manuels et automatiques peuvent être réalisés avec CANON PLA 501FA, ce qui en fait une machine flexible et fiable pour les besoins de production. PLA-501FA offre également une gamme de capacités d'assurance de la sécurité et de la qualité. Il peut être configuré avec un outil d'alignement sans huile UltraViolet. Sa conception de sécurité avancée garantit que tous les composants sont isolés pour la plus grande sécurité. Un atout de refroidissement avancé est conçu pour s'assurer que le modèle fonctionne à une température stable pour une performance optimale. PLA 501 FA est conçu pour offrir un maximum de qualité et de débit avec une maintenance minimale. Ses caractéristiques avancées en font un excellent choix pour l'alignement des plaquettes et des masques dans les environnements de production. Avec d'excellentes capacités de procédé, une exposition de haute précision et des caractéristiques de sécurité intégrées, PLA-501 FA fournit une solution rentable pour les exigences de production.
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