Occasion CANON PLA 501 S #37944 à vendre en France

CANON PLA 501 S
ID: 37944
Taille de la plaquette: 3"-4"
Aligner, 3"-4" IR Back side alignment.
CANON PLA 501 S est un aligneur de masque commandé par ordinateur conçu pour aligner un photomasque (ou réticule) sur une plaquette de matériau semi-conducteur. Cet aligneur est un dispositif très précis qui permet une précision de niveau nanométrique lors de l'exposition du photomasque sur la plaquette. En utilisant un étage de quartz XYZ indépendant et des optiques interchangeables, CANON PLA 501S peut obtenir une précision d'exposition allant jusqu'à 1,5 µm. PLA-501S utilise un étage photomasque éclairé de 5 "de diamètre, avec une conception modulaire qui permet à l'utilisateur de choisir les optiques qui seront utilisées pour le processus d'exposition. Cette unité est intégrée avec un étage de haute précision capable de balayage X-Y avec une distance de déplacement allant jusqu'à 80mm et une résolution allant jusqu'à 1µm. De plus, l'unité est équipée d'un ensemble collimateur/lentille confocale réglable et d'un équipement de focalisation motorisé. Le 501S dispose également d'un système laser d'exposition à haute vitesse capable d'une exposition variable jusqu'à 300mW/cm2 avec fréquence variable. L'unité comporte également des mesures d'exposition pouvant atteindre 16 lentilles par exposition, et la zone d'exposition peut être ajustée pour une large gamme de tailles de substrat. La sécurité est une caractéristique essentielle de CANON PLA-501S, car la machine est équipée de dispositifs de sécurité au laser et intégrés pour protéger l'opérateur et la photomasque. L'outil est logé dans une armoire blindée pour s'assurer qu'il n'y a pas d'interférence de sources externes. De plus, un moyen de verrouillage à plusieurs niveaux est inclus pour empêcher l'accès non autorisé de l'appareil. Dans l'ensemble, PLA 501S est un aligneur de masque polyvalent et très précis qui peut fournir une précision d'exposition nano-niveau pour une large gamme de substrats semi-conducteurs. C'est un modèle sûr et convivial qui peut être utilisé pour des techniques de masquage rapides et précises.
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