Occasion CANON PLA 501 #293592025 à vendre en France

CANON PLA 501 est un aligneur de masque plein champ, utilisé pour la lithographie et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un aligneur sans contact de haute précision qui utilise un faisceau de lumière pour obtenir un alignement de transfert précis, permettant de modeler avec précision les caractéristiques sur un substrat semi-conducteur. CANON PLA-501 est doté d'un appareil de balayage haute résolution et d'une lentille haute NA, ce qui permet un balayage fortement focalisé avec une large gamme dynamique. Le laser de 1050nm de longueur d'onde utilisé a un contraste élevé et une focalisation profonde, et peut effectivement transférer une gamme de différentes tailles de fonctionnalités avec une grande précision. Le processus haute précision et haute résolution de la machine peut transférer les motifs de micro-lithographie alignés avec précision, avec une taille de 0,1um réalisable. Son champ de projection est assez grand, ce qui permet de traiter une grande variété de matrices. Son système de revêtement photorésist dispose d'une capacité de revêtement uniforme avec une précision d'épaisseur de film de 2 %. PLA 501 est équipé de la capacité de contrôle CAO/CAM, et dispose d'un nouveau paramètre GUI pour réduire les temps de configuration et les erreurs de fonctionnement manuel. Il comprend également une structure matricielle avec des fonctions automatiques d'alignement, d'inclinaison et de rotation et une fonction spéciale de cartographie des plaquettes est disponible pour permettre une inspection rapide et précise de la planéité des plaquettes. PLA-501 utilise une unité de refroidissement par évaporation avancée qui élimine les effets thermiques et les distorsions de mouvement, offrant la plus grande précision et répétabilité possible. La machine fonctionne à basse fréquence, ce qui élimine le bruit acoustique en fonctionnement. Un générateur d'irradiation à 14 segments produit une irradiation uniforme et permet un traitement rapide sans entretien. En outre, le masque aligneur est équipé d'un détecteur CMOS avancé qui fournit une grande sensibilité et des mesures de faible courant d'obscurité, contribuant à assurer une précision d'alignement haut de gamme à tout moment. CANON PLA 501 est une machine conviviale qui est également très fiable, avec un long intervalle de maintenance, compte tenu de ses fonctions d'inspection robustes et enclenchées. Le processus automatisable et les fonctionnalités faciles à utiliser font de CANON PLA-501 un choix idéal pour les applications d'alignement de masque de haute précision.