Occasion CANON PLA 501 #293643206 à vendre en France
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CANON PLA 501 est un dispositif utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un aligneur de masque, qui est un outil utilisé pour positionner avec précision un motif photomasque sur un substrat cible afin que des parties du motif puissent être focalisées puis exposées à la lumière. Ceci permet un alignement précis du motif avec le dispositif semi-conducteur en cours de réalisation, conduisant à des rendements plus élevés et de meilleures performances. CANON PLA-501 est un marchepied, c'est-à-dire qu'il utilise la technologie step-and-repeat pour aligner et focaliser avec précision le motif de photomasque. Il présente une précision d'alignement maximale de 1,5µm, un angle de libération maximal de 10 ° et une taille de champ maximale de 10mmø. Il est équipé à la fois d'un système d'optique télécentrique et d'un scanner à miroir polygonal, permettant à la fois une grande précision et des capacités de suréchantillonnage, ce qui permet une meilleure netteté de l'image même à des grossissements plus élevés. La source laser a une sortie moyenne de 450mW, avec une plage de tension de 10.5V à 12V, adaptée à la fois aux expositions quasi-ultraviolettes et aux expositions absolues visibles. PLA 501 est un système hautement automatisé, avec un contrôleur numérique programmable et un système de surveillance pour l'analyse approfondie des processus. L'interface utilisateur est conviviale et très intuitive, avec des contrôles simples pour modifier les paramètres, surveiller les données en cours de processus, exécuter des diagnostics et gérer les comptes utilisateurs. L'architecture logicielle est divisée en trois modules principaux : le module de traitement, le module d'exploitation et le module de maintenance. PLA-501 est conçu pour travailler dans un environnement de salle blanche, comme avec de nombreux aligneurs de masques. L'appareil dispose de filtres intégrés et de chicanes, ainsi que de systèmes spécialement conçus pour supprimer le bruit et les vibrations, de sorte qu'il peut être utilisé dans une salle blanche stricte avec une perturbation minimale de l'environnement. Pour assurer le bon fonctionnement et la sécurité de l'appareil, CANON offre une large gamme de produits consommables, tels que des photorésistants, des agents de nettoyage et des fluides d'entretien des lentilles. Le CANON PLA 501 est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs et se distingue de ses concurrents par sa précision, sa vitesse, sa convivialité et sa fiabilité supérieures. Avec sa taille compacte et sa technologie de pointe, il peut répondre aux exigences de fabrication les plus exigeantes et peut être utilisé pour diverses applications, telles que les transistors à couches minces, les technologies à mémoire dense et l'optoélectronique.
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