Occasion CANON PLA 501 #293758566 à vendre en France
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CANON PLA 501 est un aligneur de masque conçu pour la photolithographie automatisée de plaquettes. Le dispositif utilise un équipement de projection à deux étages qui offre un balisage de haute qualité avec un grand champ de vision de 700 mm x 300 mm. Ce système à deux étages assure un alignement rapide et peu énergétique, réduisant le temps et le coût de la photolithographie. L'appareil dispose également d'une unité de projection de contraste élevé avec d'excellentes capacités de résolution. PLA-501 de CANON a une machine d'optique d'avant-garde, qui fournit 6x le grossissement et un rayon d'alignement de NX90 à laser avec un détecteur de proximité pour l'alignement de dessin extrêmement exact. La procédure de photolithographie automatisée est rendue possible par la caméra CCD de l'outil, qui permet de suivre la position de la plaquette pendant l'exposition. Il intègre également un actif auto-focus qui peut ajuster la position du motif sur la plaquette si le substrat se déplace ou se déforme. L'appareil est également équipé d'un modèle d'imagerie haute précision et haute résolution qui garantit des résultats favorables pour la photolithographie. Ceci est réalisé en utilisant un étage de plaquette de 6 ", un étage de masque 9, et un étage de plaquette de haute précision XYZ avec une vitesse de déplacement de 8 um/sec. Ses ± 45 ° d'inclinaison libre permettent aux utilisateurs d'effectuer une lithographie à grande échelle avec différents angles sur le même substrat. Le PLA 501 dispose également d'un alignement et d'une précision de transfert fiables avec les caractéristiques combinées de son équipement de mesure avancé et de son système d'imagerie, ce qui permet aux utilisateurs de développer des modèles avec précision et efficacité. L'unité offre également un environnement favorable au processus de développement. La maintenance, qui nécessite un minimum d'efforts, est assurée par un compteur de maintenance actif qui surveille de façon alarmante les données de service. PLA-501 est une machine de photolithographie tout-en-un pour le traitement au niveau des plaquettes. Ses applications utiles et sa conception adaptée en font une plate-forme idéale pour un large éventail d'applications de recherche et industrielles telles que la microélectronique, le MEMS, le traitement de semi-conducteurs ou de circuits et la biotechnologie.
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