Occasion CANON PLA 501 #293828883 à vendre en France

CANON PLA 501
Fabricant
CANON
Modèle
PLA 501
ID: 293828883
Mask aligner.
CANON PLA 501 est un aligneur de masque très sophistiqué et spécialisé qui peut fabriquer avec précision et efficacité des appareils à micro-échelle avec des caractéristiques microscopiques. L'aligneur dispose d'un équipement d'alignement avancé qui combine un système de centrage en quatre points qui utilise quatre capteurs d'alignement de longue durée avec des diodes laser pour la mesure sans contact du substrat. Ceci garantit une excellente précision et répétabilité de l'enregistrement et de l'alignement du substrat au masque. L'aligneur dispose également d'une unité optique de précision avec objectif au microscope 10X et oculaire au microscope 5X pour le contrôle de précision du logement et des forces appliquées. De plus, le microprocesseur de commande assure un niveau de précision élevé avec une plage de 0,1 à 2 millionièmes de mètre. L'alignement dispose également d'un étage de masque intégré pour un positionnement rapide et facile du masque, permettant un enregistrement précis du masque à la plaquette. L'étage de masque est réglable, ce qui permet à l'utilisateur de changer la quantité de porte-masque, ce qui augmente la profondeur de mise au point pour couvrir une plage de 0,05 à 0,7 micromètres. Un asservissement plan-masque à vitesse variable permet de contrôler avec précision le mouvement et la position du masque. La conception modulaire à cadre ouvert de l'étage de masque garantit une accessibilité facile, même dans un environnement de laboratoire encombré. Le masque est maintenu en place à l'aide d'une machine à vide, tandis que la scène elle-même est stable et répétable. Les masques compatibles comprennent des résines organiques traitées en solution, des résines LED, des photorésistes, du dioxyde de silicium et des masques métalliques. L'aligneur de masque CANON PLA-501 dispose également d'une jauge optique intégrée et d'une fonction automatique sharpening‰Ûª pour une haute précision et une répétabilité des réglages d'exposition. L'outil est conçu pour un débit ultra-élevé pouvant atteindre 10 plaquettes par heure, et jusqu'à 20 millions de clichés d'alignement peuvent être stockés pour une utilisation future. L'aligneur est conçu pour être compatible avec la plupart des bancs de photolithographie standard et personnalisés, y compris ceux avec des jauges optiques intégrées. Cela en fait un choix idéal pour les laboratoires qui cherchent à améliorer leur productivité et leur précision dans la fabrication de circuits intégrés, de capteurs et d'autres dispositifs à micro-échelle.
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