Occasion CANON PLA 600 FA #154145 à vendre en France
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CANON PLA 600 FA est un aligneur de masque automatisé avancé conçu pour des applications de lithographie précises. Il est adapté à la réalisation d'un large éventail d'applications, y compris la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la nanotechnologie et les systèmes microélectromécaniques (MEMS). CANON PLA-600FA est équipé d'un équipement d'alignement 3D automatisé et de plusieurs sources laser, lui permettant d'obtenir un alignement précis et précis de plusieurs couches. Le système d'alignement tridimensionnel (3D) de PLA 600FA permet un placement précis du masque, ce qui en fait un outil fiable pour des opérations lithographiques précises sur divers matériaux. L'alignement 3D permet d'aligner avec précision le motif et le substrat. L'unité réduit également les risques de désalignement et offre une précision d'alignement améliorée de 5 μ m. CANON PLA 600FA est équipé d'une large gamme de sources laser qui sont très utiles pour effectuer des opérations de balisage sur une variété de matériaux. Ces sources laser comprennent un laser excimère, un laser à diode proche infrarouge et un laser à ultrasons impulsionnels. Le laser excimère est principalement utilisé pour le traitement de matériaux qui ne peuvent pas être exposés à la lumière visible, tels que la couche de SiO2 d'un dispositif semi-conducteur. Le laser à diode proche infrarouge est un outil puissant pour les opérations de découpage, de découpage et de gravure au laser, tandis que le laser à ultrasons impulsionnels est idéal pour les opérations de découpage fin. La machine offre également une variété de procédés lithographiques qui peuvent être utilisés pour diverses applications, y compris la lithographie de contact et la lithographie de proximité. Le processus de lithographie de contact est idéal pour créer de petits motifs, tels que ceux utilisés dans MEMS, tandis que le processus de lithographie de proximité est idéal pour les opérations de lithographie à grande échelle. De plus, PLA 600 FA est capable de contrôler la dose d'exposition et a une largeur de raie minimale de 5 um. Enfin, PLA-600FA est facile à utiliser et à utiliser, ce qui le rend adapté aux applications de lithographie à petite et grande échelle. L'outil est également livré avec tous les composants nécessaires pour permettre le bon fonctionnement, comme une chambre, un moteur pas à pas, et un logiciel, qui peut être facilement actionné par l'utilisateur. En outre, l'actif est fourni avec une télécommande, permettant aux utilisateurs de contrôler les paramètres du modèle à distance.
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