Occasion CANON PLA 600 FA #33364 à vendre en France

ID: 33364
Taille de la plaquette: 4"-6"
Aligner, 4"-6" 500W UV / DUV Illumination system Print resolution: 1 mu.
CANON PLA 600 FA est un aligneur de masque spécialement conçu pour la photolithographie. Ce dispositif présente une interface conviviale et convient à des applications telles que la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, le dépôt de couches minces organiques et inorganiques et la réplication. Le masque aligneur mesure 1060 × 830 mm et a une productivité optimale de 6000 plaquettes par heure. Il est équipé de deux étages de masque motorisés qui se déplacent indépendamment l'un de l'autre pour maximiser la productivité. De plus, le masque aligneur utilise un mécanisme de contrôle avancé qui permet des processus de lithographie précis et reproductibles. CANON PLA-600FA est alimenté par deux sources laser : un laser à ions argon visible et une lampe flash au xénon ultraviolet (UV). Le laser à ions argon offre une large gamme de longueurs d'onde de 504-514 nanomètres et fournit une résolution optique de < 2 microns. La lampe flash au xénon UV est utilisée pour créer et examiner le motif de résistance à une longueur d'onde de 248 nanomètres. Le dispositif dispose également de l'unité de pré-alignement ultra-haute précision, qui positionne avec précision le masque sur la plaquette en mesurant les points d'adaptation des motifs et en reconnaissant la distorsion. Cet aligneur de masque est équipé d'un système DSP (Digital Signal Processing) qui permet aux utilisateurs de contrôler la taille, la position et la déformation de l'image. Il permet également aux utilisateurs de créer des modèles de haute précision avec une précision d'alignement haute vitesse et haute précision. L'alignement et l'imagerie automatisés sont effectués avec un moteur 4 axes, ce qui permet un positionnement rapide et précis. Le dispositif est également capable de détecter des particules extrêmement petites, jusqu'à 2 microns de taille. PLA 600FA dispose également d'un algorithme d'optimisation numérique avancé qui améliore le rendement du processus et réduit le temps de lithographie. Il dispose également d'une fonctionnalité définie par tâche, qui permet aux utilisateurs d'attribuer des tâches à des unités spécifiques et d'optimiser automatiquement le système pour chaque tâche. De plus, CANON PLA 600FA dispose d'un système intégré de diagnostic et d'autodiagnostic qui permet aux utilisateurs de diagnostiquer et de dépanner facilement. Enfin, PLA 600 FA est un excellent choix pour les processus de photolithographie qui nécessitent une grande précision et un traitement rapide. Ce dispositif est idéal pour les applications industrielles et est fiable, efficace et rentable.
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