Occasion CANON PLA 600 FA #9015364 à vendre en France

CANON PLA 600 FA est un alignement de masque de photo-lithographie avancé produit par CANON ASIA. Sa technologie de pointe est conçue pour fournir un alignement de masque très précis et fiable pour les produits qui nécessitent une haute précision dans le processus de lithographie. CANON PLA-600FA est conçu pour supporter les alignements entre les masques de plaquettes et les surfaces de plaquettes ou de substrats. Il est constitué de composants importants tels qu'un étage porte-air, un étage photorécepteur, un étage de détection de lumière, et une unité de transport de plaquettes, tous conçus pour assurer un alignement de précision. L'étage porte-air offre un environnement de travail optimal pour les étages de masque et de plaquette. Ceci est réalisé grâce aux cartouches portantes d'air miniatures qui contribuent à une couche d'élastomère de faible rugosité pour un mouvement extrêmement lisse et précis. De plus, un système de mouvement d'étage dans le plan, composé de deux rails de guidage linéaires, est utilisé pour assurer un déplacement et un positionnement des étages de haute précision. L'étage photorécepteur est conçu pour permettre une cartographie précise entre les plaquettes et les motifs de masques. Ceci est activé par le mécanisme de zoom moteur pas à pas, qui est capable de fournir un champ de vision jusqu'à 700 microns avec une grande précision. De plus, un système d'imagerie intégré capture des images prises sous quatre angles de prise de vue et une double source lumineuse UV-IR illumine l'étage de la plaquette et du masque à des fins d'inspection. L'étage de détection de lumière est conçu pour assurer une stabilité à long terme. Ceci est réalisé grâce à un détecteur de puissance optique sans contact, qui détecte avec précision l'intensité lumineuse émise par la plaquette et des masques pour assurer un alignement précis. Enfin, l'unité de transport de plaquettes permet un déplacement rapide et efficace de la plaquette et des masques. Ceci est rendu possible par l'utilisation de bobines à pas variable, qui contribuent à une plus grande douceur que les systèmes classiques de vis à plomb. Dans l'ensemble, PLA 600FA est un alignement de masque avancé, très précis et fiable. Sa technologie de pointe est conçue pour fournir un alignement très précis et fiable entre les masques de plaquettes et les surfaces de plaquettes ou de substrats.