Occasion CANON PLA 600F #293830592 à vendre en France
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ID: 293830592
Taille de la plaquette: 2"-6"
Mask aligners, 2"-6"
Photo mask size: 2.5", 4", 5", 6", 7"
Illuminator:
Lamp: 250W super high pressure mercury lamp
Uniformity: +/-3% / D150 mm
Exposure time setting: Light integration method (Switch setting from 0.1 to 59.9)
Exposure time: 5 sec for positive resist (AZ 1470), 2 sec for negative resist (OMR 83, using, ND-50 filter)
Alignment scope:
Objective lens: 10x (5 x, 20 x)
Zoom erector: 1 x-2.5x
Eyepiece: 10 x (15 x, 20 x option)
Field of observation: image
Scanning range X/Y direction: +/- 10 mm joystick
Alignment method:
Auto alignment (PLA-600FA): +/-0.5, +/-1.0, +/-2.0 ILm
Tolerance setting: Key patterns for auto alignment
Offset control: (0-7.9 ILm in 0.1 ILm units, 0-791Lm in 1 ILm units)
Alignment mode: Auto, semi-auto and manual.
CANON PLA 600F est une machine Mask Aligner utilisée pour divers procédés de fabrication de puces semi-conductrices et microélectroniques. La machine est conçue comme un équipement aligné verticalement, où les substrats sont montés sur un étage, qui est ensuite déplacé verticalement par rapport à un masque ou réticule. Il peut traiter des plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre, avec un temps de traitement typique de 30 ~ 60 minutes par plaquette. CANON PLA600F possède un plateau exposé et est équipé d'un système de pré-alignement à faible diffusion d'énergie. Cette unité aligne avec précision le masque avec le substrat, même avec des désalignements allant jusqu'à 3µm. Il est également conçu pour protéger le substrat contre les dommages potentiels lors de l'alignement, ainsi que pour maintenir un environnement de travail propre et exempt de débris. PLA-600F dispose d'une machine de balayage à deux axes et est capable de fonctionner dans différents modes, de manière à pouvoir s'adapter à un large éventail de processus. La direction de balayage, le taux de numérisation et l'intensité d'exposition peuvent être ajustés pour tenir compte de différents paramètres de processus. La machine est également équipée d'un outil d'exposition automatique, qui permet un contrôle précis de l'exposition pour assurer l'uniformité et la précision du processus sur une gamme de tailles d'image. En termes d'optique d'éclairage, CANON PLA-600F peut accueillir une gamme de lentilles, avec un choix d'objectifs microscopiques, macro-objectifs et objectifs de terrain. Ce large choix de lentilles permet à la machine d'aligner avec précision des substrats de différentes tailles et formes. Le CANON Sensor Array Model est également intégré à l'actif pour un contrôle avancé de l'uniformité de l'éclairage. Cet équipement peut permettre de contrôler l'uniformité de l'éclairage marginal et des temps d'exposition du substrat. CANON PLA-600 F dispose également d'un système de vide CLASS-SEV qui maintient le substrat fermement en place sur l'étape de traitement. L'unité assure également un environnement de vide propre et sans débris. L'étage de la machine est également très facile à utiliser et peut être réglé grâce à une interface utilisateur simple et intuitive. En résumé, PLA-600 F est une machine de Mask Aligner polyvalente et précise qui est capable de traiter une gamme de processus différents. Il est équipé d'une gamme de lentilles, d'un Capteur Array Machine et d'un outil CLASS-SEV Vacuum, qui garantissent l'alignement précis, l'uniformité de l'éclairage et la propreté. L'interface utilisateur facile à utiliser rend cette machine facile à utiliser, contribuant à assurer une production fluide et efficace.
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