Occasion CANON PLA #9244761 à vendre en France

CANON PLA (Parallel Layer Aligner) est un aligneur de masque conçu pour la lithographie à base de wafer stepper/scanner. Il s'agit d'un équipement programmable d'alignement laser compatible pas à pas qui permet des capacités d'alignement de superposition automatisées en combinant des capacités optiques et logicielles pour mesurer et aligner les couches dans différentes couches. PLA utilise des techniques d'alignement laser et de microscopie optique haute résolution pour mesurer avec précision l'alignement relatif de deux couches. L'alignement laser est réalisé en utilisant un laser et une plaquette de silicium sur lesquels on réfléchit une image de chaque couche. Lorsque l'alignement des deux couches est déterminé pour être précis, il est écrit dans la recette de lithographie en conséquence. Le système reconnaît des motifs à partir d'une seule image prise à partir d'une plaquette de test de superposition, puis la compare à un ensemble de données de référence. Il permet de mesurer l'alignement relatif de deux couches jusqu'à une précision de sous microns. CANON PLA est équipé d'un puissant algorithme d'imagerie qui simplifie et accélère le positionnement de plusieurs couches tout en éliminant le besoin d'images multiples. L'unité dispose également d'un certain nombre d'outils intégrés, dont un outil de vérification de l'alignement, un outil d'adaptation des motifs et un outil de détection des bords. PLA est conçu pour réduire le temps de mise en place et réduire au minimum le nombre d'expositions nécessaires à la production. Sa puissance est couplée à la flexibilité d'une machine laser programmable, permettant à un utilisateur de contrôler tous les paramètres du processus d'alignement. Il est également très automatisé, permettant un alignement précis et répétable de plusieurs couches. Dans l'ensemble, CANON PLA est un outil de lithographie extrêmement fiable et utile qui offre une excellente précision et le potentiel d'atteindre la production de débit rapide. Avec sa combinaison de capacités optiques et logicielles, il est un ajout inestimable à tout environnement de production.