Occasion DNS / DAINIPPON MA-4200 #9375091 à vendre en France

DNS/DAINIPPON MA-4200 est un aligneur de masque, un outil lithographique utilisé dans le processus photolithographique pour transférer un motif de circuit d'un photomasque sur un substrat (par exemple une plaque de silicium ou une lame de verre). L'aligneur projette une image du photomasque sur le substrat et mesure l'alignement en utilisant un capteur d'alignement. Le DNS MA-4200 est conçu pour des masques dont le diamètre peut atteindre 10,4 pouces (263 mm) et possède une précision d'alignement inférieure à un micron sur une surface de 1000µm. La grande précision est possible grâce à la technique d'alignement quadridimensionnel de l'outil, qui utilise deux interféromètres pour mesurer l'alignement du substrat et du photomasque. Cette méthode est également avantageuse pour l'inspection des enregistrements de plaquettes à masques. Pour accroître encore la précision, DAINIPPON MA-4200 utilise une conception d'étape optimisée pour réduire les erreurs d'enregistrement dues aux cantilevers et à la dilatation thermique, et dispose d'un système antivibratoire pour minimiser les vibrations mécaniques et assurer un alignement uniforme sur toute la zone d'alignement. En termes de maintenance, MA-4200 dispose de deux systèmes de vide séparés pour réduire le besoin d'échange manuel de plaquettes et faciliter un fonctionnement sans faille. En outre, l'outil comprend un système d'alignement automatique (AAS) qui peut localiser avec précision le centre d'alignement désiré dans le substrat et compenser les erreurs d'enregistrement par la pression d'un seul bouton, de sorte que l'étalonnage manuel n'est pas nécessaire. En termes de compatibilité photomasque, l'unité peut gérer une grande variété de types, y compris les masques binaires, les masques de déphasage et les masques chromés. Pour assurer la fiabilité et la sécurité, DNS/DAINIPPON MA-4200 dispose d'une variété de fonctions de contrôle, y compris une fonction de protection contre la surcharge qui arrête automatiquement l'outil s'il détecte une perturbation mécanique. Il dispose également de détecteurs de particules d'air et de fuites électriques pour détecter toute contamination de l'air et le maintenir dans des limites de sécurité. DNS MA-4200 est conçu pour un traitement photolithographique rapide, précis et précis. Sa combinaison de performances, précision, maintenabilité, sécurité et compatibilité en font un choix idéal pour une large gamme d'applications de photolithographie.