Occasion ELS TECHNOLOGY ELS 106SA #293768116 à vendre en France

ID: 293768116
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2012
Mask aligner, 6"-8" 2012 vintage.
ELS TECHNOLOGY ELS 106SA masque aligner est un outil de lithographie polyvalent, précis et fiable utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'équipement est conçu pour des applications de haute résolution de faisceau d'électrons, de rayons X et de lithographie optique et fournit une précision à l'échelle du nanomètre. Ce système comprend un aligneur de masque, une chambre, un mandrin de substrat et des accessoires. Le masque aligneur utilise un étage motorisé pour déplacer précisément et aligner des masques pour une résolution aussi petite que 500nm. Ceci permet de s'assurer que le dispositif en cours de fabrication est précis et aligné atomiquement. La chambre de ELS 106SA est une unité monocouche, monobloc, classe submicronique-propre de conception sur axe. Cette conception permet l'insertion et le retrait rapides des mandrins de substrat, et la chambre dispose d'une machine de portage unique qui permet une intégration facile de plusieurs accessoires. Il dispose également d'une source de chauffage à haute température pour fournir des compensations thermiques pour un alignement précis. Le mandrin de substrat de ELS TECHNOLOGY ELS 106SA est conçu pour permettre des substrats à faible angle, avec des repères d'alignement pré-alignés capables d'atteindre des résolutions aussi petites que 5nm. Les accessoires optionnels comprennent un évaporateur à faisceau d'électrons, une source de dépôt par perfusion de gaz, un outil de focalisation optique et un actif de surveillance des cristaux de quartz. Le modèle comprend également une fonction de verrouillage de sécurité pour assurer la sécurité de l'opérateur. ELS 106SA est conçu pour la recherche et les applications industrielles et offre un contrôle convivial et intuitif pour des tâches de fabrication polyvalentes. Il dispose d'une interface utilisateur graphique avancée pour configurer plusieurs paramètres et pour surveiller les performances de l'équipement. Le système comprend également des capacités d'analyse et de journalisation, permettant aux clients de suivre facilement les changements de patrons et de détecter toute anomalie. En outre, cette unité dispose d'une machine de maintenance intégrée pour le contrôle et les essais périodiques afin de maintenir une performance optimale de l'outil. Cet actif est robuste, fiable et conçu pour résister au stress environnemental et opérationnel. Dans l'ensemble, ELS TECHNOLOGY ELS 106SA masque aligner est un modèle précis, convivial et fiable qui est conçu pour des applications de lithographie haute résolution. Ses caractéristiques avancées, sa conception robuste et son équipement de contrôle intuitif en font un outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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