Occasion EVG / EV GROUP 620 #9149820 à vendre en France

EVG/EV Group EVG/EV GROUP 620 est un aligneur de masque de nouvelle génération utilisé en lithographie optique. Il offre des niveaux de précision plus élevés, une uniformité sans compromis et une cohérence de processus supérieure à celle des autres aligneurs de masques de sa catégorie. L'équipement dispose d'une phase d'alignement entièrement automatisée et à grande vitesse. Il utilise un système de micropositionnement avec un niveau de précision et de répétabilité sans précédent. La caméra optique aide à déterminer la position exacte de l'échantillon de plaquette. L'unité d'alignement optique répond aux normes de semi-conducteur pour l'uniformité des dimensions critiques sur les plaquettes, et le capteur d'alignement haute résolution fournit une précision de position précise. L'étage de masque est constitué d'une unité de pointage à grande vitesse entièrement automatique avec un plan de champ de vision, qui s'ajuste constamment en fonction de la taille du masque et de l'épaisseur de la résine photosensible. Cela garantit la précision du placement du masque et réduit les erreurs potentielles d'enregistrement. De plus, la machine dispose d'un outil de serrage mécanique intégré qui facilite le chargement et le déchargement rapides du masque. L'actif a plusieurs fonctionnalités qui sont conçues pour rationaliser le flux de travail des utilisateurs et améliorer l'efficacité. Le modèle de recette automatisé simplifie la configuration du processus et la validation de l'uniformité avec une seule recette. L'interface utilisateur intuitive permet aux utilisateurs de construire et de contrôler des recettes de processus rapidement et permet des ajustements en temps réel. En outre, l'équipement supporte jusqu'à cinq séries de recettes simultanément pour augmenter le débit. EVG 620 offre des performances de lithographie optique de classe mondiale. Ses systèmes d'alignement de haute précision offrent une précision et une répétabilité exceptionnelles. L'étape de placement du masque entièrement automatisé assure un positionnement précis du masque, et l'interface utilisateur intuitive permet aux utilisateurs d'ajuster facilement les recettes et les paramètres de traitement. Le système dispose également d'une technologie de régulation de température intégrée pour des performances de processus répétables et fiables.