Occasion EVG / EV GROUP 620 #9157850 à vendre en France
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Vendu
ID: 9157850
Taille de la plaquette: 6''
Mask aligner, 6"
BSA
Lamphouse: 500W
Automatic filter exchanger
Spare parts included
Currently de-installed.
EVG/EV GROUP 620 est un équipement avancé de Mask Aligner qui est conçu pour le traitement et les tests polyvalents. Il intègre une technologie d'alignement optique entièrement automatisée qui permet l'enregistrement précis et répétable de substrats plats contre des masques rigides ou flexibles. Ce système offre également un débit et une précision supérieurs pour un large éventail d'applications. EVG 620 dispose de composants optiques, de logiciels et d'ingénierie de systèmes de classe mondiale. Son unité d'alignement de pointe, comprenant deux 13 axes d'entraínement de précision, peut atteindre un haut degré de précision tout en assurant un contrôle précis du substrat lors des processus d'alignement actif. Cela le rend idéal pour des applications telles que la résistance à l'imagerie, la lithographie fine ligne, la préparation de substrat de précision, et d'autres tâches difficiles. Le processus d'alignement automatisé, qui utilise une combinaison d'un capteur d'imagerie optique de haute précision et d'un masque orientable, assure un positionnement précis du substrat à chaque fois, avec une répétabilité meilleure que +/- 1 micron à la fois dans les axes X et Y et meilleure que +/- 2 microns dans les axes Z. Ceci permet des images de résistance très précises et une préparation précise du substrat. La machine dispose également d'un outil de lithographie puissant pour assurer la précision des sous-microns pour toutes les opérations. Le module Z-focus automatisé de l'actif permet un balayage dynamique pour assurer l'uniformité de l'épaisseur de résistance. Les modes de fonctionnement en cascade assurent un contrôle ultra haute résolution et déviation, tandis que ses algorithmes avancés d'alignement et de détection permettent une correspondance rapide et précise des données de conception, minimisant les aberrations. Le modèle est également extrêmement convivial, avec un écran tactile LCD 4,3 pouces haute résolution, qui affiche des informations telles que les alignements, le nombre d'expositions, la quantité totale d'exposition par substrat, ainsi que l'évaluation détaillée des résultats de résistance. Cela permet un fonctionnement facile et intuitif. EV GROUP 620 est un équipement très avancé Mask Aligner avec d'excellentes capacités de performance et un fonctionnement convivial. Il a la capacité de fournir une vitesse et une précision supérieures pour une grande variété d'applications, tout en rendant des évaluations détaillées des résultats de résistance disponibles grâce à son écran tactile LCD couleur de 4,3 pouces haute résolution.
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