Occasion EVG / EV GROUP 620 #9189243 à vendre en France

EVG/EV GROUP 620 est un aligneur de masque manuel conçu pour les applications avancées de photolithographie. Il a une grande taille d'étage de 600 mm x 500 mm avec une taille de masque de 611 mm x 505 mm, ce qui le rend adapté pour des quantités de production jusqu'à des parcours de taille moyenne et une variété de substrats dont le silicium, le quartz, le verre et le polyimide. Les caractéristiques avancées de l'EVG 620, y compris l'étage manuel contrôlé par l'utilisateur, l'axe Z motorisé de haute précision, le tourbillon à 4 voies et un écran sous pression, le rendent bien adapté aux alignements optiques avancés, aux tâches d'alignement critiques et même à la lithographie fine. EV GROUP 620 Aligner est équipé d'un enregistrement automatisé de haute précision et de plusieurs fonctionnalités innovantes qui garantissent un débit optimal et une répétabilité à long terme, telles que la détection des bords de pixel, le contraste des images des doigts et le balayage des liaisons transversales. Les spécifications de précision du système de ± 3,1 µm en X et en Y et ± 1,05 µm en Z permettent d'obtenir une excellente précision de recouvrement de couvercle à couvercle avec des temps d'alignement aussi courts que 60 secondes. L'étage piloté par l'utilisateur de la 620 permet un alignement manuel précis à n'importe quel endroit, tandis que son axe Z motorisé à haute résolution assure une grande précision et une répétabilité efficace lors de l'exécution de tâches d'immobilisation en ligne fine ou de l'alignement de petites caractéristiques. EVG/EV GROUP 620 dispose également d'un wobble multi-axes unique qui compense les effets de chauffage et contribue à réduire la variation de charge. Ce tourbillon à 4 axes commandé par l'utilisateur, combiné à l'axe Z motorisé, assure une précision d'alignement fine même lorsque le substrat est incliné ou pas complètement parallèle à la surface d'alignement. EVG 620 est également conçu pour accueillir un écran sous pression, permettant d'effectuer des processus tels que l'alignement plus propre, l'alignement plein champ et l'alignement à cristaux liquides rapidement et avec précision. En outre, EV GROUP 620 est conçu avec la polyvalence en tête et est capable de répondre aux exigences les plus exigeantes des clients. C'est un performeur extrêmement fiable avec d'excellentes performances globales, ce qui en fait le choix idéal pour des applications d'alignement exigeantes et de lithographie critique.